装备制造技术
裝備製造技術
장비제조기술
EQUIPMENT MANUFACTURING TECHNOLOGY
2009年
5期
38-40
,共3页
激光投影成像曝光%准分子激光器%大面积激光扫描%对准%无缝误差
激光投影成像曝光%準分子激光器%大麵積激光掃描%對準%無縫誤差
격광투영성상폭광%준분자격광기%대면적격광소묘%대준%무봉오차
介绍了大面积激光投影成像曝光系统的构成和工作过程.阐述了其中的关键核心技术如激光照明光学技术、折叠投影光学技术、大面积扫描技术和光学自动对准技术,分析了光学系统的参教、配王以及光路设计等存在的问题,对大面积扫描中的无接缝误差和自动对准中的高精度检测定住等技术上的解决办法作了有益的探讨.
介紹瞭大麵積激光投影成像曝光繫統的構成和工作過程.闡述瞭其中的關鍵覈心技術如激光照明光學技術、摺疊投影光學技術、大麵積掃描技術和光學自動對準技術,分析瞭光學繫統的參教、配王以及光路設計等存在的問題,對大麵積掃描中的無接縫誤差和自動對準中的高精度檢測定住等技術上的解決辦法作瞭有益的探討.
개소료대면적격광투영성상폭광계통적구성화공작과정.천술료기중적관건핵심기술여격광조명광학기술、절첩투영광학기술、대면적소묘기술화광학자동대준기술,분석료광학계통적삼교、배왕이급광로설계등존재적문제,대대면적소묘중적무접봉오차화자동대준중적고정도검측정주등기술상적해결판법작료유익적탐토.
