漳州师范学院学报（自然科学版）
漳州師範學院學報（自然科學版）
장주사범학원학보（자연과학판）
JOURNAL OF ZHANGZHOU TEACHERS COLLEGE(NATURAL SCIENCE EDITION)
2010年
3期
52-56
,共5页
肖荣辉%林丽梅%郑明志%彭福川%赖发春
肖榮輝%林麗梅%鄭明誌%彭福川%賴髮春
초영휘%림려매%정명지%팽복천%뢰발춘
铜氧化物%薄膜%氧气流量%磁控溅射%光学性质
銅氧化物%薄膜%氧氣流量%磁控濺射%光學性質
동양화물%박막%양기류량%자공천사%광학성질
反应磁控溅射方法在玻璃基片上沉积铜氧化物薄膜,研究氧气流量对薄膜结构和光学性质的影响.用X射线衍射仪检测薄膜的结构,分光光度计测量薄膜的透射和反射光谱,采用拟合正入射透射光谱数据的方法计算薄膜的折射率、消光系数及厚度.结果表明,薄膜沉积过程中,随着氧气流量的增加,铜氧化生成物从Cu2O逐步过渡到Cu4O3,最后为CuO;当氧氩流量比为6:25时,生成单相多晶结构的Cu2O薄膜,薄膜的折射牟和消光系数随波长增加而减小,带隙为2.49 eV;不同氧气流量条件下制备的Cu2O,CuO薄膜的折射率和消光系数随氧流量的增加而增加.
反應磁控濺射方法在玻璃基片上沉積銅氧化物薄膜,研究氧氣流量對薄膜結構和光學性質的影響.用X射線衍射儀檢測薄膜的結構,分光光度計測量薄膜的透射和反射光譜,採用擬閤正入射透射光譜數據的方法計算薄膜的摺射率、消光繫數及厚度.結果錶明,薄膜沉積過程中,隨著氧氣流量的增加,銅氧化生成物從Cu2O逐步過渡到Cu4O3,最後為CuO;噹氧氬流量比為6:25時,生成單相多晶結構的Cu2O薄膜,薄膜的摺射牟和消光繫數隨波長增加而減小,帶隙為2.49 eV;不同氧氣流量條件下製備的Cu2O,CuO薄膜的摺射率和消光繫數隨氧流量的增加而增加.
반응자공천사방법재파리기편상침적동양화물박막,연구양기류량대박막결구화광학성질적영향.용X사선연사의검측박막적결구,분광광도계측량박막적투사화반사광보,채용의합정입사투사광보수거적방법계산박막적절사솔、소광계수급후도.결과표명,박막침적과정중,수착양기류량적증가,동양화생성물종Cu2O축보과도도Cu4O3,최후위CuO;당양아류량비위6:25시,생성단상다정결구적Cu2O박막,박막적절사모화소광계수수파장증가이감소,대극위2.49 eV;불동양기류량조건하제비적Cu2O,CuO박막적절사솔화소광계수수양류량적증가이증가.
