光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2011年
1期
124-131
,共8页
热机械加工%微加热器%Al诱导退火晶化(AIC)%多晶硅
熱機械加工%微加熱器%Al誘導退火晶化(AIC)%多晶硅
열궤계가공%미가열기%Al유도퇴화정화(AIC)%다정규
针对热机械式微纳米结构的加工,提出了一种以掺Al多晶硅为材料,集成于微悬臂梁上的加热器.采用Al诱导退火晶化(AIC)方法,在750 K对Al/a-Si∶H复合薄膜低温晶化18 h,制备出掺Al多晶硅.通过低温退火,使复合薄膜的拉曼特征峰由478 cm-1移至520 cm-1,完成由非晶硅向多晶硅的转变;由四探针仪测得室温下样品的电阻率由退火前的1010 Ω·cm降至16.8×10-3Ω·cm,实现了多晶硅的Al掺杂;在扫描电镜下观测到退火后Al与a-Si∶H层的界限消失并形成一层均匀的薄膜;这些结果表明得到了晶化程度很高的Al掺杂多晶硅.继而研究了掺Al多晶硅与氮化硅悬臂梁的集成工艺,采用微加工方法将掺Al多晶硅制成微加热器.使用ANSYS软件仿真加热器的工作过程,在10 V,0.3 μs脉冲驱动下,加热器升温至782.8 K,降温时间约1 μs.仿真分析显示,采用AIC法制得的掺Al多晶硅具有良好的热电特性,符合用于对高分子材料进行热机械微纳加工的微加热器的性能要求.
針對熱機械式微納米結構的加工,提齣瞭一種以摻Al多晶硅為材料,集成于微懸臂樑上的加熱器.採用Al誘導退火晶化(AIC)方法,在750 K對Al/a-Si∶H複閤薄膜低溫晶化18 h,製備齣摻Al多晶硅.通過低溫退火,使複閤薄膜的拉曼特徵峰由478 cm-1移至520 cm-1,完成由非晶硅嚮多晶硅的轉變;由四探針儀測得室溫下樣品的電阻率由退火前的1010 Ω·cm降至16.8×10-3Ω·cm,實現瞭多晶硅的Al摻雜;在掃描電鏡下觀測到退火後Al與a-Si∶H層的界限消失併形成一層均勻的薄膜;這些結果錶明得到瞭晶化程度很高的Al摻雜多晶硅.繼而研究瞭摻Al多晶硅與氮化硅懸臂樑的集成工藝,採用微加工方法將摻Al多晶硅製成微加熱器.使用ANSYS軟件倣真加熱器的工作過程,在10 V,0.3 μs脈遲驅動下,加熱器升溫至782.8 K,降溫時間約1 μs.倣真分析顯示,採用AIC法製得的摻Al多晶硅具有良好的熱電特性,符閤用于對高分子材料進行熱機械微納加工的微加熱器的性能要求.
침대열궤계식미납미결구적가공,제출료일충이참Al다정규위재료,집성우미현비량상적가열기.채용Al유도퇴화정화(AIC)방법,재750 K대Al/a-Si∶H복합박막저온정화18 h,제비출참Al다정규.통과저온퇴화,사복합박막적랍만특정봉유478 cm-1이지520 cm-1,완성유비정규향다정규적전변;유사탐침의측득실온하양품적전조솔유퇴화전적1010 Ω·cm강지16.8×10-3Ω·cm,실현료다정규적Al참잡;재소묘전경하관측도퇴화후Al여a-Si∶H층적계한소실병형성일층균균적박막;저사결과표명득도료정화정도흔고적Al참잡다정규.계이연구료참Al다정규여담화규현비량적집성공예,채용미가공방법장참Al다정규제성미가열기.사용ANSYS연건방진가열기적공작과정,재10 V,0.3 μs맥충구동하,가열기승온지782.8 K,강온시간약1 μs.방진분석현시,채용AIC법제득적참Al다정규구유량호적열전특성,부합용우대고분자재료진행열궤계미납가공적미가열기적성능요구.
