CAJ | 학술논문

在神经工程中,微电极阵列是神经系统与外界电子电路的接口,其性能决定了整个神经系统的信号采集和刺激的效果.提出了一种基于Parylene的半球形柔性生物微电极阵列.在微电极的制备过程中,使用了光刻胶热熔技术和MEMS技术.半球形形貌的微电极有利于形成和神经组织的良好接触,并且相比同底面积的平板电极,表面积增加为2倍,这有利于降低界面阻抗,降低系统功耗.使用化学气相沉积法沉积Parylene C薄膜作为微电极的封装材料,它具有良好的生物相容性和柔性,可以降低对神经组织的损害.实验结果表明,与此半球形微电极底面积大1.3倍的平板电极相比,半球形微电极的界面阻抗下降了55％,并且界面阻抗随着微电极顶部开口直径的变化而变化.使用Comsol有限元软件进行了电极/组织液液面流出电流密度仿真,仿真结果也表明,微电极的流出电流密度也随着微电极顶部开口直径的变化而变化,因此可以通过调整微电极顶部开口直径来调节电流密度,从而满足不同部位需要不同电流密度刺激的要求.
재신경공정중,미전겁진렬시신경계통여외계전자전로적접구,기성능결정료정개신경계통적신호채집화자격적효과.제출료일충기우Parylene적반구형유성생물미전겁진렬.재미전겁적제비과정중,사용료광각효열용기술화MEMS기술.반구형형모적미전겁유리우형성화신경조직적량호접촉,병차상비동저면적적평판전겁,표면적증가위2배,저유리우강저계면조항,강저계통공모.사용화학기상침적법침적Parylene C박막작위미전겁적봉장재료,타구유량호적생물상용성화유성,가이강저대신경조직적손해.실험결과표명,여차반구형미전겁저면적대1.3배적평판전겁상비,반구형미전겁적계면조항하강료55％,병차계면조항수착미전겁정부개구직경적변화이변화.사용Comsol유한원연건진행료전겁/조직액액면류출전류밀도방진,방진결과야표명,미전겁적류출전류밀도야수착미전겁정부개구직경적변화이변화,인차가이통과조정미전겁정부개구직경래조절전류밀도,종이만족불동부위수요불동전류밀도자격적요구.