功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2004年
z1期
1142-1144,1147
,共4页
仇萍荪%程文秀%何夕云%郑鑫森%丁爱丽
仇萍蓀%程文秀%何夕雲%鄭鑫森%丁愛麗
구평손%정문수%하석운%정흠삼%정애려
SrTiO3衬底%PLZT膜%溅射条件%外延生长
SrTiO3襯底%PLZT膜%濺射條件%外延生長
SrTiO3츤저%PLZT막%천사조건%외연생장
用射频磁控溅射法在SrTiO3衬底上外延生长PLZT薄膜,研究了不同的溅射工艺对薄膜生长速率的影响,探讨了不同的后期热处理条件与薄膜取向度的关系.在SrTiO3衬底上成功制备出外延生长的、厚度达1.5μm的PLZT薄膜.
用射頻磁控濺射法在SrTiO3襯底上外延生長PLZT薄膜,研究瞭不同的濺射工藝對薄膜生長速率的影響,探討瞭不同的後期熱處理條件與薄膜取嚮度的關繫.在SrTiO3襯底上成功製備齣外延生長的、厚度達1.5μm的PLZT薄膜.
용사빈자공천사법재SrTiO3츤저상외연생장PLZT박막,연구료불동적천사공예대박막생장속솔적영향,탐토료불동적후기열처리조건여박막취향도적관계.재SrTiO3츤저상성공제비출외연생장적、후도체1.5μm적PLZT박막.
