真空
真空
진공
VACUUM
2012年
2期
56-60
,共5页
池华敬%郭帅%熊凯%王双%周旭%苗建朋%陈革%章其初
池華敬%郭帥%熊凱%王雙%週旭%苗建朋%陳革%章其初
지화경%곽수%웅개%왕쌍%주욱%묘건붕%진혁%장기초
磁控溅射%太阳选择性吸收涂层%SS-AlN金属陶瓷%真空集热管%太阳吸收比%红外发射比%平均热损系数
磁控濺射%太暘選擇性吸收塗層%SS-AlN金屬陶瓷%真空集熱管%太暘吸收比%紅外髮射比%平均熱損繫數
자공천사%태양선택성흡수도층%SS-AlN금속도자%진공집열관%태양흡수비%홍외발사비%평균열손계수
采用真空磁控溅射沉积SS-AlN金属陶瓷太阳选择性吸收涂层.涂层光学功能层的制备,先采用铜靶溅射Cu红外反射层；再采用不锈钢(SS)和铝两金属靶在Ar和N2的混合气体中同时溅射沉积SS-AlN金属陶瓷吸收层；最后采用Al靶在Ar和N2中反应溅射沉积AlN减反射层.金属陶瓷吸收层由高、低SS体积份额的两吸收子层组成.优化溅射镀膜工艺参数获得高性能吸收涂层,太阳吸收比α(AM1.5)高达0.956±0.003(国标GB:α≥0.86),比GB高10％；红外发射比ε仅为0.043±0.003(GB:ε≤0.08).制备成φ58×2100 mm全玻璃真空太阳集热管,80℃平均热损系数ULT仅为0.47±0.01 W/m2℃ (GB:ULT≤0.85 W/m2℃),比GB低0.38W/m2℃,性能提高45％.制备的真空集热管具有良好的真空品质,集热管内管加热350℃恒温480 h后,吸气镜面轴向长度平均消失率仅为2～3％,集热管真空品质优于GB高达100倍以上(GB:350℃恒温48 h,镜面消失率≤50％).
採用真空磁控濺射沉積SS-AlN金屬陶瓷太暘選擇性吸收塗層.塗層光學功能層的製備,先採用銅靶濺射Cu紅外反射層；再採用不鏽鋼(SS)和鋁兩金屬靶在Ar和N2的混閤氣體中同時濺射沉積SS-AlN金屬陶瓷吸收層；最後採用Al靶在Ar和N2中反應濺射沉積AlN減反射層.金屬陶瓷吸收層由高、低SS體積份額的兩吸收子層組成.優化濺射鍍膜工藝參數穫得高性能吸收塗層,太暘吸收比α(AM1.5)高達0.956±0.003(國標GB:α≥0.86),比GB高10％；紅外髮射比ε僅為0.043±0.003(GB:ε≤0.08).製備成φ58×2100 mm全玻璃真空太暘集熱管,80℃平均熱損繫數ULT僅為0.47±0.01 W/m2℃ (GB:ULT≤0.85 W/m2℃),比GB低0.38W/m2℃,性能提高45％.製備的真空集熱管具有良好的真空品質,集熱管內管加熱350℃恆溫480 h後,吸氣鏡麵軸嚮長度平均消失率僅為2～3％,集熱管真空品質優于GB高達100倍以上(GB:350℃恆溫48 h,鏡麵消失率≤50％).
채용진공자공천사침적SS-AlN금속도자태양선택성흡수도층.도층광학공능층적제비,선채용동파천사Cu홍외반사층；재채용불수강(SS)화려량금속파재Ar화N2적혼합기체중동시천사침적SS-AlN금속도자흡수층；최후채용Al파재Ar화N2중반응천사침적AlN감반사층.금속도자흡수층유고、저SS체적빈액적량흡수자층조성.우화천사도막공예삼수획득고성능흡수도층,태양흡수비α(AM1.5)고체0.956±0.003(국표GB:α≥0.86),비GB고10％；홍외발사비ε부위0.043±0.003(GB:ε≤0.08).제비성φ58×2100 mm전파리진공태양집열관,80℃평균열손계수ULT부위0.47±0.01 W/m2℃ (GB:ULT≤0.85 W/m2℃),비GB저0.38W/m2℃,성능제고45％.제비적진공집열관구유량호적진공품질,집열관내관가열350℃항온480 h후,흡기경면축향장도평균소실솔부위2～3％,집열관진공품질우우GB고체100배이상(GB:350℃항온48 h,경면소실솔≤50％).
