材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2004年
10期
64-67
,共4页
夏冬林%刘梅冬%徐慢%赵修建
夏鼕林%劉梅鼕%徐慢%趙脩建
하동림%류매동%서만%조수건
PZT%铁电薄膜%铁电厚膜%制备技术
PZT%鐵電薄膜%鐵電厚膜%製備技術
PZT%철전박막%철전후막%제비기술
铁电薄、厚膜材料具有良好的铁电、压电、热释电、电光及非线性光学特性,在微电子学、光电子学、集成光学和微电子机械系统等领域有许多重要的应用.近年来,随着铁电薄、厚膜制备技术的发展,PZT厚膜材料及厚膜器件成为科学工作者研究的热点.介绍了PZT铁电薄、厚膜材料与器件的研究进展以及PZT铁电薄、厚膜制备技术及几种典型的PZT铁电薄、厚膜材料制备技术的特点,并指出了目前存在的一些问题和未来的发展方向.
鐵電薄、厚膜材料具有良好的鐵電、壓電、熱釋電、電光及非線性光學特性,在微電子學、光電子學、集成光學和微電子機械繫統等領域有許多重要的應用.近年來,隨著鐵電薄、厚膜製備技術的髮展,PZT厚膜材料及厚膜器件成為科學工作者研究的熱點.介紹瞭PZT鐵電薄、厚膜材料與器件的研究進展以及PZT鐵電薄、厚膜製備技術及幾種典型的PZT鐵電薄、厚膜材料製備技術的特點,併指齣瞭目前存在的一些問題和未來的髮展方嚮.
철전박、후막재료구유량호적철전、압전、열석전、전광급비선성광학특성,재미전자학、광전자학、집성광학화미전자궤계계통등영역유허다중요적응용.근년래,수착철전박、후막제비기술적발전,PZT후막재료급후막기건성위과학공작자연구적열점.개소료PZT철전박、후막재료여기건적연구진전이급PZT철전박、후막제비기술급궤충전형적PZT철전박、후막재료제비기술적특점,병지출료목전존재적일사문제화미래적발전방향.
