Si基微纳集成光波导的理论设计
Si기미납집성광파도적이론설계
Theoretical Analysis and Design of Si-based Micro- and Nano- Integrated Optical Waveguides
  • 万方数据
    半导体学报 반도체학보
    CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
    2005年 z1期 229-232 ,共4页

    陈志文%李章健%朱启乐%赵玉周%林旭彬%李静%蔡志岗%王钢%李宝军

    진지문%리장건%주계악%조옥주%림욱빈%리정%채지강%왕강%리보군

    微纳集成%光波导%集成光学%集成光子学 微納集成%光波導%集成光學%集成光子學
    미납집성%광파도%집성광학%집성광자학
    提出了一种宽度从微米到亚微米、深亚微米、再到纳米级渐变的微纳集成结构光波导,并通过理论分析和模拟计算得到了基于Si基半导体材料的微纳集成光波导参数.其制作工艺非常简单,插入损耗在1～2.5dB之间.这种微纳集成光波导不但可解决芯径为10μm的单模光纤与纳米量级的光子晶体波导器件间的光对接、耦合和互连等难题,还可缩小光波导器件芯片的单元尺寸,有利于提高器件的集成度.为光电子器件向纳米光子集成方向的发展提供了新途径,为新一代全光通信用微纳新原理光电子器件及功能集成的发展提供了新思路.
    제출료일충관도종미미도아미미、심아미미、재도납미급점변적미납집성결구광파도,병통과이론분석화모의계산득도료기우Si기반도체재료적미납집성광파도삼수.기제작공예비상간단,삽입손모재1～2.5dB지간.저충미납집성광파도불단가해결심경위10μm적단모광섬여납미량급적광자정체파도기건간적광대접、우합화호련등난제,환가축소광파도기건심편적단원척촌,유리우제고기건적집성도.위광전자기건향납미광자집성방향적발전제공료신도경,위신일대전광통신용미납신원리광전자기건급공능집성적발전제공료신사로.
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