功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2007年
3期
266-270
,共5页
熊惠芳%唐新桂%易双萍%范仰才%蒋力立%陈王丽华
熊惠芳%唐新桂%易雙萍%範仰纔%蔣力立%陳王麗華
웅혜방%당신계%역쌍평%범앙재%장력립%진왕려화
脉冲激光沉积%钛酸锶钡薄膜%异质结构%介电调谐率
脈遲激光沉積%鈦痠鍶鋇薄膜%異質結構%介電調諧率
맥충격광침적%태산송패박막%이질결구%개전조해솔
在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)衬底上,用脉冲激光沉积工艺分别制备出了(110)外延取向生长的(Ba0.65Sr0.35)TiO3/CaRuO3(BST/CRO)异质结构薄膜;BST/CRO异质结构薄膜由纳米晶团簇组成,最大的团簇晶粒达500 nm,平均晶粒尺寸在60～80 nm,薄膜厚度为650 nm.BST/CRO异质结薄膜均为表面平滑和致密结构.BST/CRO异质结薄膜的介电常数和介电调谐率分别高达851和78.1%.与纯BST薄膜比较,用CRO作电极,增益介电常数与介电调谐率.
在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)襯底上,用脈遲激光沉積工藝分彆製備齣瞭(110)外延取嚮生長的(Ba0.65Sr0.35)TiO3/CaRuO3(BST/CRO)異質結構薄膜;BST/CRO異質結構薄膜由納米晶糰簇組成,最大的糰簇晶粒達500 nm,平均晶粒呎吋在60～80 nm,薄膜厚度為650 nm.BST/CRO異質結薄膜均為錶麵平滑和緻密結構.BST/CRO異質結薄膜的介電常數和介電調諧率分彆高達851和78.1%.與純BST薄膜比較,用CRO作電極,增益介電常數與介電調諧率.
재Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)츤저상,용맥충격광침적공예분별제비출료(110)외연취향생장적(Ba0.65Sr0.35)TiO3/CaRuO3(BST/CRO)이질결구박막;BST/CRO이질결구박막유납미정단족조성,최대적단족정립체500 nm,평균정립척촌재60～80 nm,박막후도위650 nm.BST/CRO이질결박막균위표면평활화치밀결구.BST/CRO이질결박막적개전상수화개전조해솔분별고체851화78.1%.여순BST박막비교,용CRO작전겁,증익개전상수여개전조해솔.
