华中科技大学学报(自然科学版)
華中科技大學學報(自然科學版)
화중과기대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY(NATURE SCIENCE)
2007年
12期
58-61
,共4页
穆海华%周云飞%严思杰%韩爱国
穆海華%週雲飛%嚴思傑%韓愛國
목해화%주운비%엄사걸%한애국
轨迹规划%点对点运动%约束基准%快速预处理
軌跡規劃%點對點運動%約束基準%快速預處理
궤적규화%점대점운동%약속기준%쾌속예처리
分析了3阶轨迹轮廓可能存在的各种情形,在总结各种轨迹情形图形特征的基础上,建立了用来预判别以上情况的3个基准:速度-加速度准则、距离-加速度准则和距离-速度准则.依据该基准与给定系统约束,提出了一种轨迹全过程的快速预处理方法,实现了点对点运动时间优化;结合轨迹轮廓图形的对称性与面积求积分法,给出了一种简单的公式推导方法.在此基础上,给出了3阶轨迹规划的精确算法及其实现流程.实例证明了该算法的快速性、有效性、可靠性及灵活性.该算法已成功应用于超精密半导体加工装备的研发中.
分析瞭3階軌跡輪廓可能存在的各種情形,在總結各種軌跡情形圖形特徵的基礎上,建立瞭用來預判彆以上情況的3箇基準:速度-加速度準則、距離-加速度準則和距離-速度準則.依據該基準與給定繫統約束,提齣瞭一種軌跡全過程的快速預處理方法,實現瞭點對點運動時間優化;結閤軌跡輪廓圖形的對稱性與麵積求積分法,給齣瞭一種簡單的公式推導方法.在此基礎上,給齣瞭3階軌跡規劃的精確算法及其實現流程.實例證明瞭該算法的快速性、有效性、可靠性及靈活性.該算法已成功應用于超精密半導體加工裝備的研髮中.
분석료3계궤적륜곽가능존재적각충정형,재총결각충궤적정형도형특정적기출상,건립료용래예판별이상정황적3개기준:속도-가속도준칙、거리-가속도준칙화거리-속도준칙.의거해기준여급정계통약속,제출료일충궤적전과정적쾌속예처리방법,실현료점대점운동시간우화;결합궤적륜곽도형적대칭성여면적구적분법,급출료일충간단적공식추도방법.재차기출상,급출료3계궤적규화적정학산법급기실현류정.실예증명료해산법적쾌속성、유효성、가고성급령활성.해산법이성공응용우초정밀반도체가공장비적연발중.