天津科技
天津科技
천진과기
TIANJIN SCIENCE & TECHNOLOGY
2010年
2期
4-5
,共2页
张殿朝%闫萍%索开南%庞炳远
張殿朝%閆萍%索開南%龐炳遠
장전조%염평%색개남%방병원
《111》晶向%真空单晶%成晶率
《111》晶嚮%真空單晶%成晶率
《111》정향%진공단정%성정솔
对φ30 mm、<111>晶向真空区熔硅单晶生长关键技术特点进行了分析,针对单晶生长过程中容易发生晶变的问题,从熔区受力、热场设计、结晶动力学等方面进行研究,理论联系实践.优化工艺参数,对如何提高熔区稳定性及结晶驱动力,提出了有效的解决措施,提高了真空区熔硅单晶的成品率.
對φ30 mm、<111>晶嚮真空區鎔硅單晶生長關鍵技術特點進行瞭分析,針對單晶生長過程中容易髮生晶變的問題,從鎔區受力、熱場設計、結晶動力學等方麵進行研究,理論聯繫實踐.優化工藝參數,對如何提高鎔區穩定性及結晶驅動力,提齣瞭有效的解決措施,提高瞭真空區鎔硅單晶的成品率.
대φ30 mm、<111>정향진공구용규단정생장관건기술특점진행료분석,침대단정생장과정중용역발생정변적문제,종용구수력、열장설계、결정동역학등방면진행연구,이론련계실천.우화공예삼수,대여하제고용구은정성급결정구동력,제출료유효적해결조시,제고료진공구용규단정적성품솔.
