微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2002年
2期
72-74
,共3页
彭良强%伊福廷%张院春%邹丽芸%张菊芳%韩勇
彭良彊%伊福廷%張院春%鄒麗蕓%張菊芳%韓勇
팽량강%이복정%장원춘%추려예%장국방%한용
微细加工%LIGA技术%电火花加工
微細加工%LIGA技術%電火花加工
미세가공%LIGA기술%전화화가공
通过LIGA技术与微细电火花技术相结合,可以在硬质合金、不锈钢等材料上加工出微结构,这一新的方法必将拓宽微细加工的能力和应用范围.利用LIGA技术制备线宽70μm、厚度达730μm的铜工具电极,采用微细电火花技术在不锈钢片上加工出线宽90μm、具有复杂形状的微结构.
通過LIGA技術與微細電火花技術相結閤,可以在硬質閤金、不鏽鋼等材料上加工齣微結構,這一新的方法必將拓寬微細加工的能力和應用範圍.利用LIGA技術製備線寬70μm、厚度達730μm的銅工具電極,採用微細電火花技術在不鏽鋼片上加工齣線寬90μm、具有複雜形狀的微結構.
통과LIGA기술여미세전화화기술상결합,가이재경질합금、불수강등재료상가공출미결구,저일신적방법필장탁관미세가공적능력화응용범위.이용LIGA기술제비선관70μm、후도체730μm적동공구전겁,채용미세전화화기술재불수강편상가공출선관90μm、구유복잡형상적미결구.
