真空电子技术
真空電子技術
진공전자기술
VACUUM ELECTRONICS
2003年
5期
32-34
,共3页
黄光周%马国欣%于继荣%杨英杰%周仲浩
黃光週%馬國訢%于繼榮%楊英傑%週仲浩
황광주%마국흔%우계영%양영걸%주중호
半导体%等离子体%有害气体%环境保护
半導體%等離子體%有害氣體%環境保護
반도체%등리자체%유해기체%배경보호
叙述了等离子体刻蚀过程中产生的有害气体以及处理这些有害气体的原理和方法.对燃烧分解、化学中和、薄膜吸气、等离子体净化及脉冲电晕放电等作了简要的概述.指出等离子体净化和脉冲电晕放电是净化有害气体的较好方法.
敘述瞭等離子體刻蝕過程中產生的有害氣體以及處理這些有害氣體的原理和方法.對燃燒分解、化學中和、薄膜吸氣、等離子體淨化及脈遲電暈放電等作瞭簡要的概述.指齣等離子體淨化和脈遲電暈放電是淨化有害氣體的較好方法.
서술료등리자체각식과정중산생적유해기체이급처리저사유해기체적원리화방법.대연소분해、화학중화、박막흡기、등리자체정화급맥충전훈방전등작료간요적개술.지출등리자체정화화맥충전훈방전시정화유해기체적교호방법.
