在预涂陶瓷过渡层的多谱段ZnS衬底上沉积金刚石膜的探索研究
재예도도자과도층적다보단ZnS츤저상침적금강석막적탐색연구
An Exploratory Study on Preparation of Diamond Film Coatings on Multi-spectra ZnS Pre-coated with a Ceramic Interlayer
  • 万方数据
    人工晶体学报 인공정체학보

    2004年 1期 105-108 ,共4页

    吕反修%高旭辉%郭会斌%陈广超%李成明%唐伟忠%佟玉梅%余怀之%程宏范%杨海

    려반수%고욱휘%곽회빈%진엄초%리성명%당위충%동옥매%여부지%정굉범%양해

    硫化锌%金刚石膜涂层%陶瓷过渡层%诱导形核%微波等离子体CVD 硫化鋅%金剛石膜塗層%陶瓷過渡層%誘導形覈%微波等離子體CVD
    류화자%금강석막도층%도자과도층%유도형핵%미파등리자체CVD
    本文采用真空电子束蒸镀技术在多谱段ZnS衬底上沉积了适合金刚石膜沉积的致密陶瓷过渡层,并利用微波等离子体CVD金刚石膜低温沉积技术进行了金刚石膜沉积研究.发现在陶瓷过渡层上的金刚石形核极其困难,其原因可能是陶瓷涂层在沉积过程中龟裂导致ZnS蒸汽扩散逸出干扰金刚石形核所致.本文采用诱导形核技术在过渡层/ZnS试样表面观察到极高密度(1010/cm2)的金刚石形核,并对金刚石/过渡层/ZnS试样的红外透过特性进行了评价.
    본문채용진공전자속증도기술재다보단ZnS츤저상침적료괄합금강석막침적적치밀도자과도층,병이용미파등리자체CVD금강석막저온침적기술진행료금강석막침적연구.발현재도자과도층상적금강석형핵겁기곤난,기원인가능시도자도층재침적과정중구렬도치ZnS증기확산일출간우금강석형핵소치.본문채용유도형핵기술재과도층/ZnS시양표면관찰도겁고밀도(1010/cm2)적금강석형핵,병대금강석/과도층/ZnS시양적홍외투과특성진행료평개.
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