CAJ | 학술논문

数字全息是用数字的方式记录和处理全息图像,避免了传统全息照相的化学处理,既简化了处理过程,更便于用数字图像处理的方式来改进图像质量和提取信息.数字全息干涉计量技术是一种全场、非接触的光学测量方法,该方法测量精度高,光路简单,对防振要求低,实验条件容易满足,特别适合微小物体的微小位移或变形的精确测量.本文运用数字全息干涉计量法测定了两端固支梁的微小离面位移;经实验验证数字全息计量术能精确测量物体0.01微米量级位移或变形;而且该方法可靠性好、成本低;是非接触的无损测量.数字全息计量技术的这些特点使得该技术在小物体的微小变形测量上具有特别的优越性,因而在MEMS结构及MEMS材料参数(如弹性模量、泊松比、热变形系数等)的测定中有广阔的应用前景.
수자전식시용수자적방식기록화처리전식도상,피면료전통전식조상적화학처리,기간화료처리과정,경편우용수자도상처리적방식래개진도상질량화제취신식.수자전식간섭계량기술시일충전장、비접촉적광학측량방법,해방법측량정도고,광로간단,대방진요구저,실험조건용역만족,특별괄합미소물체적미소위이혹변형적정학측량.본문운용수자전식간섭계량법측정료량단고지량적미소리면위이;경실험험증수자전식계량술능정학측량물체0.01미미량급위이혹변형;이차해방법가고성호、성본저;시비접촉적무손측량.수자전식계량기술적저사특점사득해기술재소물체적미소변형측량상구유특별적우월성,인이재MEMS결구급MEMS재료삼수(여탄성모량、박송비、열변형계수등)적측정중유엄활적응용전경.