功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2008年
4期
681-683
,共3页
张士英%庄惠照%薛成山%李保理
張士英%莊惠照%薛成山%李保理
장사영%장혜조%설성산%리보리
β-Ga2O3 棒%磁控溅射%光致发光
β-Ga2O3 棒%磁控濺射%光緻髮光
β-Ga2O3 봉%자공천사%광치발광
利用射频磁控溅射法在Si(111)衬底上先溅射Mo中间层,再溅射Ga2O3薄膜,然后在氨气中退火合成了大量的一维棒状β-Ga2O3.X射线衍射、选区电子衍射和能量弥散谱的分析结果表明,制备的样品为β-Ga2O3.利用扫描电子显微镜和高分辨透射电子显微镜观察发现,合成的棒具有直而光滑的表面,其直径在70～200nm左右.室温光致发光谱显示出两个较强的蓝光发射.另外,简单讨论棒状β-Ga2O3的生长机制.
利用射頻磁控濺射法在Si(111)襯底上先濺射Mo中間層,再濺射Ga2O3薄膜,然後在氨氣中退火閤成瞭大量的一維棒狀β-Ga2O3.X射線衍射、選區電子衍射和能量瀰散譜的分析結果錶明,製備的樣品為β-Ga2O3.利用掃描電子顯微鏡和高分辨透射電子顯微鏡觀察髮現,閤成的棒具有直而光滑的錶麵,其直徑在70～200nm左右.室溫光緻髮光譜顯示齣兩箇較彊的藍光髮射.另外,簡單討論棒狀β-Ga2O3的生長機製.
이용사빈자공천사법재Si(111)츤저상선천사Mo중간층,재천사Ga2O3박막,연후재안기중퇴화합성료대량적일유봉상β-Ga2O3.X사선연사、선구전자연사화능량미산보적분석결과표명,제비적양품위β-Ga2O3.이용소묘전자현미경화고분변투사전자현미경관찰발현,합성적봉구유직이광활적표면,기직경재70～200nm좌우.실온광치발광보현시출량개교강적람광발사.령외,간단토론봉상β-Ga2O3적생장궤제.
