光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2008年
9期
22-26,31
,共6页
主动光学%超薄反射镜%有限元%Zemike多项式%优化设计
主動光學%超薄反射鏡%有限元%Zemike多項式%優化設計
주동광학%초박반사경%유한원%Zemike다항식%우화설계
针对超薄反射镜径厚比大,自身刚度小,更易受环境变化影响面形精度的问题,本文对一块口径500mm超薄实验镜的主动支撑方案进行了有限元分析,并提出了主动支撑方案.本文包括以下内容:1)利用有限元软件系统建立了500mm超薄镜面的有限元模型;2)利用Zernike多项式几个低阶像差来模拟镜面的制造误差和工作环境变化引起的镜面形变,得到超薄镜面上各点的误差值;3)在分别计算出各个致动器响应函数的基础上,给出了该超薄镜具有最佳主动校正能力的致动器分布的优化方案;4)通过对比不同厚度的超薄镜的主动校正能力,给出了500mm口径超薄镜的最佳厚度.
針對超薄反射鏡徑厚比大,自身剛度小,更易受環境變化影響麵形精度的問題,本文對一塊口徑500mm超薄實驗鏡的主動支撐方案進行瞭有限元分析,併提齣瞭主動支撐方案.本文包括以下內容:1)利用有限元軟件繫統建立瞭500mm超薄鏡麵的有限元模型;2)利用Zernike多項式幾箇低階像差來模擬鏡麵的製造誤差和工作環境變化引起的鏡麵形變,得到超薄鏡麵上各點的誤差值;3)在分彆計算齣各箇緻動器響應函數的基礎上,給齣瞭該超薄鏡具有最佳主動校正能力的緻動器分佈的優化方案;4)通過對比不同厚度的超薄鏡的主動校正能力,給齣瞭500mm口徑超薄鏡的最佳厚度.
침대초박반사경경후비대,자신강도소,경역수배경변화영향면형정도적문제,본문대일괴구경500mm초박실험경적주동지탱방안진행료유한원분석,병제출료주동지탱방안.본문포괄이하내용:1)이용유한원연건계통건립료500mm초박경면적유한원모형;2)이용Zernike다항식궤개저계상차래모의경면적제조오차화공작배경변화인기적경면형변,득도초박경면상각점적오차치;3)재분별계산출각개치동기향응함수적기출상,급출료해초박경구유최가주동교정능력적치동기분포적우화방안;4)통과대비불동후도적초박경적주동교정능력,급출료500mm구경초박경적최가후도.
