微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2010年
12期
736-741
,共6页
隋灵禾%戴旭涵%王佩红%赵小林
隋靈禾%戴旭涵%王珮紅%趙小林
수령화%대욱함%왕패홍%조소림
微电子机械系统(MEMS)%平面微弹簧%弹性系数%几何非线性%Ansys
微電子機械繫統(MEMS)%平麵微彈簧%彈性繫數%幾何非線性%Ansys
미전자궤계계통(MEMS)%평면미탄황%탄성계수%궤하비선성%Ansys
工程应用中,平面微弹簧存在弹性系数的非线性现象且难以被忽略,弹簧结构的几何非线性是引起这种现象的主要原因.针对特定形状的弹簧运用Ansys软件进行了非线性有限元静力学仿真,计算出弹簧弹性力F与弹性形变x之间的对应关系,并与采用MEMS微细加工技术制得弹簧样品实测实验结果比较,相对误差低于3.2%,验证了分析模型的可靠性.而后设计了5种不同平面形状的微弹簧,仿真计算它们的力学性能曲线,以及改变弹簧臂宽度厚度后的力学性能曲线,分别进行比较以讨论影响非线性的主要因素,为弹簧的设计工作提供参考依据.
工程應用中,平麵微彈簧存在彈性繫數的非線性現象且難以被忽略,彈簧結構的幾何非線性是引起這種現象的主要原因.針對特定形狀的彈簧運用Ansys軟件進行瞭非線性有限元靜力學倣真,計算齣彈簧彈性力F與彈性形變x之間的對應關繫,併與採用MEMS微細加工技術製得彈簧樣品實測實驗結果比較,相對誤差低于3.2%,驗證瞭分析模型的可靠性.而後設計瞭5種不同平麵形狀的微彈簧,倣真計算它們的力學性能麯線,以及改變彈簧臂寬度厚度後的力學性能麯線,分彆進行比較以討論影響非線性的主要因素,為彈簧的設計工作提供參攷依據.
공정응용중,평면미탄황존재탄성계수적비선성현상차난이피홀략,탄황결구적궤하비선성시인기저충현상적주요원인.침대특정형상적탄황운용Ansys연건진행료비선성유한원정역학방진,계산출탄황탄성력F여탄성형변x지간적대응관계,병여채용MEMS미세가공기술제득탄황양품실측실험결과비교,상대오차저우3.2%,험증료분석모형적가고성.이후설계료5충불동평면형상적미탄황,방진계산타문적역학성능곡선,이급개변탄황비관도후도후적역학성능곡선,분별진행비교이토론영향비선성적주요인소,위탄황적설계공작제공삼고의거.
