超硬材料工程
超硬材料工程
초경재료공정
SUPERHARD MATERIAL ENGINEERING
2011年
2期
1-5
,共5页
王启亮%吕宪义%成绍恒%张晴%李红东%邹广田
王啟亮%呂憲義%成紹恆%張晴%李紅東%鄒廣田
왕계량%려헌의%성소항%장청%리홍동%추엄전
高速生长%CVD%金刚石单晶%退火%金刚石工具
高速生長%CVD%金剛石單晶%退火%金剛石工具
고속생장%CVD%금강석단정%퇴화%금강석공구
文章简要地介绍了近年来国内外CVD金刚石单晶的高速生长和应用进展.实验中采用微波等离子体化学气相沉积(CVD)方法,同质外延高速生长金刚石单晶,通过改变反应腔压强、反应气氛(在CH4／H2中引入氮气N2、二氧化碳CO2、氧气O2、)等,调制单晶生长速率、质量、颜色、表面粗糙度、光谱等特性.利用高温氢等离子体进行退火,可使金刚石单晶的颜色有很大的改善.研制了CVD金刚石单晶刀具,用于金属材料的曲面镜面加工.
文章簡要地介紹瞭近年來國內外CVD金剛石單晶的高速生長和應用進展.實驗中採用微波等離子體化學氣相沉積(CVD)方法,同質外延高速生長金剛石單晶,通過改變反應腔壓彊、反應氣氛(在CH4／H2中引入氮氣N2、二氧化碳CO2、氧氣O2、)等,調製單晶生長速率、質量、顏色、錶麵粗糙度、光譜等特性.利用高溫氫等離子體進行退火,可使金剛石單晶的顏色有很大的改善.研製瞭CVD金剛石單晶刀具,用于金屬材料的麯麵鏡麵加工.
문장간요지개소료근년래국내외CVD금강석단정적고속생장화응용진전.실험중채용미파등리자체화학기상침적(CVD)방법,동질외연고속생장금강석단정,통과개변반응강압강、반응기분(재CH4／H2중인입담기N2、이양화탄CO2、양기O2、)등,조제단정생장속솔、질량、안색、표면조조도、광보등특성.이용고온경등리자체진행퇴화,가사금강석단정적안색유흔대적개선.연제료CVD금강석단정도구,용우금속재료적곡면경면가공.
