纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2011年
6期
526-532
,共7页
三维调制靶模板%金刚石车削%快速刀具伺服%刀具参数%刀尖圆弧半径
三維調製靶模闆%金剛石車削%快速刀具伺服%刀具參數%刀尖圓弧半徑
삼유조제파모판%금강석차삭%쾌속도구사복%도구삼수%도첨원호반경
采用快速刀具伺服技术(FTS)实现了非回转对称三维调制靶模板的精密车削加工.阐明了调制靶模板车削加工的基本原理,并提出一种基于坐标变换的金刚石刀具几何参数选择方法,推导了车削加工此类表面时金刚石刀具刀尖圆弧半径、前角和后角所需满足的条件.基于此提出了一种基于三次Hermite插值的刀尖圆弧半径补偿算法,并详细讨论了插值节点的计算方法.由刀尖圆弧半径补偿仿真结果可以看出,此补偿算法精度优于2 nm.在自行研制的精密金刚石车床上实现了X、y方向上波长均为100μm、幅值均为0.7 μ,m的正弦网格调制结构的加工.采用白光干涉仪对所加工的调制结构进行测量,并提取二维轮廓进行分析,其轮廓误差为0.31μm,表面粗糙度为13.3 nm.测量结果表明采用基于快速刀具伺服的非回转对称车削是实现三维调制靶模板制作的有效手段.
採用快速刀具伺服技術(FTS)實現瞭非迴轉對稱三維調製靶模闆的精密車削加工.闡明瞭調製靶模闆車削加工的基本原理,併提齣一種基于坐標變換的金剛石刀具幾何參數選擇方法,推導瞭車削加工此類錶麵時金剛石刀具刀尖圓弧半徑、前角和後角所需滿足的條件.基于此提齣瞭一種基于三次Hermite插值的刀尖圓弧半徑補償算法,併詳細討論瞭插值節點的計算方法.由刀尖圓弧半徑補償倣真結果可以看齣,此補償算法精度優于2 nm.在自行研製的精密金剛石車床上實現瞭X、y方嚮上波長均為100μm、幅值均為0.7 μ,m的正絃網格調製結構的加工.採用白光榦涉儀對所加工的調製結構進行測量,併提取二維輪廓進行分析,其輪廓誤差為0.31μm,錶麵粗糙度為13.3 nm.測量結果錶明採用基于快速刀具伺服的非迴轉對稱車削是實現三維調製靶模闆製作的有效手段.
채용쾌속도구사복기술(FTS)실현료비회전대칭삼유조제파모판적정밀차삭가공.천명료조제파모판차삭가공적기본원리,병제출일충기우좌표변환적금강석도구궤하삼수선택방법,추도료차삭가공차류표면시금강석도구도첨원호반경、전각화후각소수만족적조건.기우차제출료일충기우삼차Hermite삽치적도첨원호반경보상산법,병상세토론료삽치절점적계산방법.유도첨원호반경보상방진결과가이간출,차보상산법정도우우2 nm.재자행연제적정밀금강석차상상실현료X、y방향상파장균위100μm、폭치균위0.7 μ,m적정현망격조제결구적가공.채용백광간섭의대소가공적조제결구진행측량,병제취이유륜곽진행분석,기륜곽오차위0.31μm,표면조조도위13.3 nm.측량결과표명채용기우쾌속도구사복적비회전대칭차삭시실현삼유조제파모판제작적유효수단.
