微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2003年
3期
33-38
,共6页
超纯水%TOC%一次纯水%二次纯水%膜脱气%TOC-UV
超純水%TOC%一次純水%二次純水%膜脫氣%TOC-UV
초순수%TOC%일차순수%이차순수%막탈기%TOC-UV
从运行管理角度,以实验方法考察了IC工艺用超纯水制造过程中TOC(总有机碳)的若干问题.通过在线测量一次纯水、二次纯水的TOC含量和相应的数据统计,评估了水平各异的两套超纯水制造系统中各主要装置对TOC的除去效率及其对TOC的影响.
從運行管理角度,以實驗方法攷察瞭IC工藝用超純水製造過程中TOC(總有機碳)的若榦問題.通過在線測量一次純水、二次純水的TOC含量和相應的數據統計,評估瞭水平各異的兩套超純水製造繫統中各主要裝置對TOC的除去效率及其對TOC的影響.
종운행관리각도,이실험방법고찰료IC공예용초순수제조과정중TOC(총유궤탄)적약간문제.통과재선측량일차순수、이차순수적TOC함량화상응적수거통계,평고료수평각이적량투초순수제조계통중각주요장치대TOC적제거효솔급기대TOC적영향.
