红外技术
紅外技術
홍외기술
INFRARED TECHNOLOGY
2004年
1期
67-70
,共4页
杨春丽%黄江平%黎力%杨登全%张丽华%李玉英
楊春麗%黃江平%黎力%楊登全%張麗華%李玉英
양춘려%황강평%려력%양등전%장려화%리옥영
光刻%铟柱制备%剥离
光刻%銦柱製備%剝離
광각%인주제비%박리
简要介绍了光刻在128×128混合式非制冷热释电焦平面(UFPA)探测器制作中的重要地位,重点介绍了光刻在铟柱制备中的应用研究.对铟柱成形的几种方法进行了比较,确定了剥离法制备铟柱.并进行了光刻实验与分析,得到了满足128×128混合式非制冷热释电焦平面器件倒装互连的铟柱.
簡要介紹瞭光刻在128×128混閤式非製冷熱釋電焦平麵(UFPA)探測器製作中的重要地位,重點介紹瞭光刻在銦柱製備中的應用研究.對銦柱成形的幾種方法進行瞭比較,確定瞭剝離法製備銦柱.併進行瞭光刻實驗與分析,得到瞭滿足128×128混閤式非製冷熱釋電焦平麵器件倒裝互連的銦柱.
간요개소료광각재128×128혼합식비제랭열석전초평면(UFPA)탐측기제작중적중요지위,중점개소료광각재인주제비중적응용연구.대인주성형적궤충방법진행료비교,학정료박리법제비인주.병진행료광각실험여분석,득도료만족128×128혼합식비제랭열석전초평면기건도장호련적인주.
