浙江大学学报（工学版）
浙江大學學報（工學版）
절강대학학보（공학판）
JOURNAL OF ZHEJIANG UNIVERSITY(ENGINEERING SCIENCE)
2004年
10期
1252-1255
,共4页
袁国栋%叶志镇%朱丽萍%钱庆%曾昱嘉
袁國棟%葉誌鎮%硃麗萍%錢慶%曾昱嘉
원국동%협지진%주려평%전경%증욱가
ZnO薄膜%肖特基势垒%退火%I-V特性
ZnO薄膜%肖特基勢壘%退火%I-V特性
ZnO박막%초특기세루%퇴화%I-V특성
报道了Au/n-ZnO形成的肖特基势垒经不同温度退火后其特性的变化.利用X射线衍射、扫描电子显微镜和扩展电阻测试对ZnO外延片的晶体质量和电学性能进行测试.采用集成电路标准工艺在ZnO外延层上制备了Si3N4隔离层及Au电极,并对该结构进行不同温度下的退火实验,分别测量其I-V特性.结果表明ZnO外延层具有高度C轴取向,表面光洁,平整,外延层与衬底之间有明显的过渡区.退火前后的样品在室温下的I-V测试结果表明,Au/n-ZnO具有明显的整流特性,其中673 K,1 min退火所得的反向漏电流仅为-0.017μA(-5V).
報道瞭Au/n-ZnO形成的肖特基勢壘經不同溫度退火後其特性的變化.利用X射線衍射、掃描電子顯微鏡和擴展電阻測試對ZnO外延片的晶體質量和電學性能進行測試.採用集成電路標準工藝在ZnO外延層上製備瞭Si3N4隔離層及Au電極,併對該結構進行不同溫度下的退火實驗,分彆測量其I-V特性.結果錶明ZnO外延層具有高度C軸取嚮,錶麵光潔,平整,外延層與襯底之間有明顯的過渡區.退火前後的樣品在室溫下的I-V測試結果錶明,Au/n-ZnO具有明顯的整流特性,其中673 K,1 min退火所得的反嚮漏電流僅為-0.017μA(-5V).
보도료Au/n-ZnO형성적초특기세루경불동온도퇴화후기특성적변화.이용X사선연사、소묘전자현미경화확전전조측시대ZnO외연편적정체질량화전학성능진행측시.채용집성전로표준공예재ZnO외연층상제비료Si3N4격리층급Au전겁,병대해결구진행불동온도하적퇴화실험,분별측량기I-V특성.결과표명ZnO외연층구유고도C축취향,표면광길,평정,외연층여츤저지간유명현적과도구.퇴화전후적양품재실온하적I-V측시결과표명,Au/n-ZnO구유명현적정류특성,기중673 K,1 min퇴화소득적반향루전류부위-0.017μA(-5V).
