西安工业学院学报
西安工業學院學報
서안공업학원학보
JOURNAL OF XI'AN INSTITUTE OF TECHNOLOGY
2005年
1期
28-31
,共4页
脉冲真空电弧离子镀膜%脉冲计数%误差%延时电路
脈遲真空電弧離子鍍膜%脈遲計數%誤差%延時電路
맥충진공전호리자도막%맥충계수%오차%연시전로
在脉冲真空电弧离子镀膜过程中,膜层厚度的控制至关重要.由其镀膜机理可知,膜层厚度与脉冲放电次数之间成线性正比关系,可以通过对脉冲放电次数进行计数的方法达到控制膜层厚度的目的.然而,脉冲计数的准确性受到很多因素的影响,分析认为主要是由外界电磁干扰和多斑点的产生引起计数的不准确.为此,采用了加入延时电路的方法提高计数的准确性.实验表明,采用这种计数电路减少计数误差是可行的,并能将误差控制在5%的范围内,能够很好的满足薄膜沉积的工艺要求.
在脈遲真空電弧離子鍍膜過程中,膜層厚度的控製至關重要.由其鍍膜機理可知,膜層厚度與脈遲放電次數之間成線性正比關繫,可以通過對脈遲放電次數進行計數的方法達到控製膜層厚度的目的.然而,脈遲計數的準確性受到很多因素的影響,分析認為主要是由外界電磁榦擾和多斑點的產生引起計數的不準確.為此,採用瞭加入延時電路的方法提高計數的準確性.實驗錶明,採用這種計數電路減少計數誤差是可行的,併能將誤差控製在5%的範圍內,能夠很好的滿足薄膜沉積的工藝要求.
재맥충진공전호리자도막과정중,막층후도적공제지관중요.유기도막궤리가지,막층후도여맥충방전차수지간성선성정비관계,가이통과대맥충방전차수진행계수적방법체도공제막층후도적목적.연이,맥충계수적준학성수도흔다인소적영향,분석인위주요시유외계전자간우화다반점적산생인기계수적불준학.위차,채용료가입연시전로적방법제고계수적준학성.실험표명,채용저충계수전로감소계수오차시가행적,병능장오차공제재5%적범위내,능구흔호적만족박막침적적공예요구.
