稀有金属
稀有金屬
희유금속
CHINESE JOURNAL OF RARE METALS
2006年
2期
134-137
,共4页
库黎明%李耀东%周旗钢%王敬
庫黎明%李耀東%週旂鋼%王敬
고려명%리요동%주기강%왕경
硅片%双面抛光%非接触式光学轮廓仪%表面形貌
硅片%雙麵拋光%非接觸式光學輪廓儀%錶麵形貌
규편%쌍면포광%비접촉식광학륜곽의%표면형모
利用非接触式光学轮廓仪研究了双面抛光过程中不同压力下300mm硅片表面形貌的变化,并通过Stribeck曲线进行了探讨.结果表明,双面抛光过程中机械作用的强度随着压力的变化而不同,从而影响抛光后的硅片表面形貌.当硅片表面与抛光垫之间的接触处于固-液混合接触区时,协调机械去除作用与化学腐蚀作用之间的关系,使之达到平衡,可以显著地降低硅片表面的微粗糙度和峰谷值.
利用非接觸式光學輪廓儀研究瞭雙麵拋光過程中不同壓力下300mm硅片錶麵形貌的變化,併通過Stribeck麯線進行瞭探討.結果錶明,雙麵拋光過程中機械作用的彊度隨著壓力的變化而不同,從而影響拋光後的硅片錶麵形貌.噹硅片錶麵與拋光墊之間的接觸處于固-液混閤接觸區時,協調機械去除作用與化學腐蝕作用之間的關繫,使之達到平衡,可以顯著地降低硅片錶麵的微粗糙度和峰穀值.
이용비접촉식광학륜곽의연구료쌍면포광과정중불동압력하300mm규편표면형모적변화,병통과Stribeck곡선진행료탐토.결과표명,쌍면포광과정중궤계작용적강도수착압력적변화이불동,종이영향포광후적규편표면형모.당규편표면여포광점지간적접촉처우고-액혼합접촉구시,협조궤계거제작용여화학부식작용지간적관계,사지체도평형,가이현저지강저규편표면적미조조도화봉곡치.
