MEMS热激发红外脉冲光源
MEMS열격발홍외맥충광원
MEMS Thermal-induced Pulsed Infrared Light Sources
  • 万方数据
    光电子技术与信息 광전자기술여신식
    OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY & INFORMATION
    2006年 3期 38-42 ,共5页

    吴飞蝶%纪新明%王建业%周嘉%黄宜平%包宗明%鲍敏杭

    오비접%기신명%왕건업%주가%황의평%포종명%포민항

    红外光源%发射率%气体传感器%辐射材料 紅外光源%髮射率%氣體傳感器%輻射材料
    홍외광원%발사솔%기체전감기%복사재료
    设计制作了不同结构、不同图形尺寸的铂金薄膜热激发MEMS红外光源,并对其辐射性能作了测试比较.测试结果显示,发射光谱带在2～4μm范围内有比较强的辐射能量,调制频率在20～40 Hz之间有较好的调制度.这些特性已经符合多数红外传感器的要求.
    설계제작료불동결구、불동도형척촌적박금박막열격발MEMS홍외광원,병대기복사성능작료측시비교.측시결과현시,발사광보대재2～4μm범위내유비교강적복사능량,조제빈솔재20～40 Hz지간유교호적조제도.저사특성이경부합다수홍외전감기적요구.
    원문보기 원문다운로드 사이트로이동
저자의 최근 논문