半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2007年
4期
349-353
,共5页
静电放电%荷电器件放电模型%测试探针%LRC模型
靜電放電%荷電器件放電模型%測試探針%LRC模型
정전방전%하전기건방전모형%측시탐침%LRC모형
静电放电峰值电流是基于荷电器件放电模型的放电测试装置中波形验证的关键指标.针对影响放电峰值电流的几个因素:测试探针长度、直径、形状和充电盘绝缘介电层的厚度,研究了这些参数变化对放电峰值电流的影响规律.根据研究结果可调整相应参数,保证荷电器件放电模型的测试装置符合测试标准.基于LRC放电电路的等效模型,实验结果给出了到满意的定量或定性解释.
靜電放電峰值電流是基于荷電器件放電模型的放電測試裝置中波形驗證的關鍵指標.針對影響放電峰值電流的幾箇因素:測試探針長度、直徑、形狀和充電盤絕緣介電層的厚度,研究瞭這些參數變化對放電峰值電流的影響規律.根據研究結果可調整相應參數,保證荷電器件放電模型的測試裝置符閤測試標準.基于LRC放電電路的等效模型,實驗結果給齣瞭到滿意的定量或定性解釋.
정전방전봉치전류시기우하전기건방전모형적방전측시장치중파형험증적관건지표.침대영향방전봉치전류적궤개인소:측시탐침장도、직경、형상화충전반절연개전층적후도,연구료저사삼수변화대방전봉치전류적영향규률.근거연구결과가조정상응삼수,보증하전기건방전모형적측시장치부합측시표준.기우LRC방전전로적등효모형,실험결과급출료도만의적정량혹정성해석.
