材料科学与工艺
材料科學與工藝
재료과학여공예
MATERIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY
2003年
3期
273-276
,共4页
等离子体基离子注入%Auger电子能谱分析%剂量分析%钛基金属
等離子體基離子註入%Auger電子能譜分析%劑量分析%鈦基金屬
등리자체기리자주입%Auger전자능보분석%제량분석%태기금속
为了研究靶形状对等离子体基离子注入均匀性的影响,应用Auger电子能谱(AES)剖面分析,测量并计算了正方形靶表面排布的Ti试样经氮等离子体基离子注入(PBII)的保留剂量分布.由于N的Auger电子发射能量与Ti的完全重合,而且表面氧化层对Ti的Auger跃迁产生很大的影响,因此应用AES对于氮等离子体基离子注入钛基金属进行化学分析变得较为复杂.本文探讨了一种既解决峰位重叠问题又考虑氧化层影响的方法,从而能够根据AES溅射剖面分析数据计算浓度深度曲线,并获得保留剂量.正方形靶表面不同位置处的剂量测算结果表明,靶的形状对于保留剂量有着很大的影响,造成剂量呈梯度分布.同时还发现,Ti氧化层随着保留剂量的增大而增厚.
為瞭研究靶形狀對等離子體基離子註入均勻性的影響,應用Auger電子能譜(AES)剖麵分析,測量併計算瞭正方形靶錶麵排佈的Ti試樣經氮等離子體基離子註入(PBII)的保留劑量分佈.由于N的Auger電子髮射能量與Ti的完全重閤,而且錶麵氧化層對Ti的Auger躍遷產生很大的影響,因此應用AES對于氮等離子體基離子註入鈦基金屬進行化學分析變得較為複雜.本文探討瞭一種既解決峰位重疊問題又攷慮氧化層影響的方法,從而能夠根據AES濺射剖麵分析數據計算濃度深度麯線,併穫得保留劑量.正方形靶錶麵不同位置處的劑量測算結果錶明,靶的形狀對于保留劑量有著很大的影響,造成劑量呈梯度分佈.同時還髮現,Ti氧化層隨著保留劑量的增大而增厚.
위료연구파형상대등리자체기리자주입균균성적영향,응용Auger전자능보(AES)부면분석,측량병계산료정방형파표면배포적Ti시양경담등리자체기리자주입(PBII)적보류제량분포.유우N적Auger전자발사능량여Ti적완전중합,이차표면양화층대Ti적Auger약천산생흔대적영향,인차응용AES대우담등리자체기리자주입태기금속진행화학분석변득교위복잡.본문탐토료일충기해결봉위중첩문제우고필양화층영향적방법,종이능구근거AES천사부면분석수거계산농도심도곡선,병획득보류제량.정방형파표면불동위치처적제량측산결과표명,파적형상대우보류제량유착흔대적영향,조성제량정제도분포.동시환발현,Ti양화층수착보류제량적증대이증후.
