中国有色金属学报
中國有色金屬學報
중국유색금속학보
THE CHINESE JOURNAL OF NONFERROUS METALS
2004年
8期
1308-1312
,共5页
马大衍%马胜利%徐可为%S.Veprek
馬大衍%馬勝利%徐可為%S.Veprek
마대연%마성리%서가위%S.Veprek
Ti-Si-N薄膜%反应磁控溅射%摩擦学
Ti-Si-N薄膜%反應磁控濺射%摩抆學
Ti-Si-N박막%반응자공천사%마찰학
用反应磁控溅射方法,在不锈钢表面沉积Ti-Si-N薄膜.用原子力显微镜观察薄膜的表面形貌,Ti-Si-N颗粒尺寸小于0.1 μm,用亚微压入仪测试薄膜硬度,当硅的摩尔分数为9.6%时,薄膜硬度出现最大值47 GPa.球-盘式摩擦磨损结果表明,Ti-Si-N薄膜的耐磨性能明显优于TiN薄膜,加入少量硅元素后,TiN薄膜的抗磨损性能有显著提高,但Ti-Si-N薄膜的室温摩擦系数较高(0.6～0.8),高温下摩擦系数也仅轻微降低(550℃,0.5～0.6).由于Ti-Si-N薄膜的摩擦系数可能与磨损中氧化物生成量的增加有关,常温下Ti-Si-N薄膜的摩擦系数随硅摩尔分数的增加而增大,而高温下Ti-Si-N薄膜的摩擦系数随硅含量上升而降低.
用反應磁控濺射方法,在不鏽鋼錶麵沉積Ti-Si-N薄膜.用原子力顯微鏡觀察薄膜的錶麵形貌,Ti-Si-N顆粒呎吋小于0.1 μm,用亞微壓入儀測試薄膜硬度,噹硅的摩爾分數為9.6%時,薄膜硬度齣現最大值47 GPa.毬-盤式摩抆磨損結果錶明,Ti-Si-N薄膜的耐磨性能明顯優于TiN薄膜,加入少量硅元素後,TiN薄膜的抗磨損性能有顯著提高,但Ti-Si-N薄膜的室溫摩抆繫數較高(0.6～0.8),高溫下摩抆繫數也僅輕微降低(550℃,0.5～0.6).由于Ti-Si-N薄膜的摩抆繫數可能與磨損中氧化物生成量的增加有關,常溫下Ti-Si-N薄膜的摩抆繫數隨硅摩爾分數的增加而增大,而高溫下Ti-Si-N薄膜的摩抆繫數隨硅含量上升而降低.
용반응자공천사방법,재불수강표면침적Ti-Si-N박막.용원자력현미경관찰박막적표면형모,Ti-Si-N과립척촌소우0.1 μm,용아미압입의측시박막경도,당규적마이분수위9.6%시,박막경도출현최대치47 GPa.구-반식마찰마손결과표명,Ti-Si-N박막적내마성능명현우우TiN박막,가입소량규원소후,TiN박막적항마손성능유현저제고,단Ti-Si-N박막적실온마찰계수교고(0.6～0.8),고온하마찰계수야부경미강저(550℃,0.5～0.6).유우Ti-Si-N박막적마찰계수가능여마손중양화물생성량적증가유관,상온하Ti-Si-N박막적마찰계수수규마이분수적증가이증대,이고온하Ti-Si-N박막적마찰계수수규함량상승이강저.
