清华大学学报（自然科学版）
清華大學學報（自然科學版）
청화대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF TSINGHUA UNIVERSITY SCIENCE AND TECHNOLOGY
2005年
11期
1480-1483
,共4页
自组装%微加工%毛细力%定位
自組裝%微加工%毛細力%定位
자조장%미가공%모세력%정위
毛细力驱动自组装的定位是利用微元件及基片表面之间的毛细力作用实现的.为了研究微元件及组装区的形状对自组装定位的影响,在分析毛细力驱动自组装机理的基础上,利用能量法建立了毛细力驱动自组装系统的定位解析模型,预测了不同形状微元件的自组装结果,并对一些不合理的组装设计进行了修正.结果表明:通过计算自组装表面能量可以预测组装结果,并设计合理的粘合区形状.
毛細力驅動自組裝的定位是利用微元件及基片錶麵之間的毛細力作用實現的.為瞭研究微元件及組裝區的形狀對自組裝定位的影響,在分析毛細力驅動自組裝機理的基礎上,利用能量法建立瞭毛細力驅動自組裝繫統的定位解析模型,預測瞭不同形狀微元件的自組裝結果,併對一些不閤理的組裝設計進行瞭脩正.結果錶明:通過計算自組裝錶麵能量可以預測組裝結果,併設計閤理的粘閤區形狀.
모세력구동자조장적정위시이용미원건급기편표면지간적모세력작용실현적.위료연구미원건급조장구적형상대자조장정위적영향,재분석모세력구동자조장궤리적기출상,이용능량법건립료모세력구동자조장계통적정위해석모형,예측료불동형상미원건적자조장결과,병대일사불합리적조장설계진행료수정.결과표명:통과계산자조장표면능량가이예측조장결과,병설계합리적점합구형상.
