CAJ | 학술논문

采用热壁真空沉积的方法,在清洁的玻璃衬底上生长了不同膜厚的CdTe薄膜,对其结构和薄膜的本征吸收光学特性进行了测量分析研究.XRD测试显示薄膜为多晶,具有标准的立方结构,沿(111)方向有明显的择优取向.晶格常数的计算值为0.649nm,与标准值符合得较好.用Cary 5000型双光束分光光度计测试了薄膜的反射谱和透射谱,显示在本征吸收区透过率随着膜厚的增加和波长的减小而减小.对测量的反射谱和透射谱采用较严格的数学处理,计算得到了描述薄膜宏观光学特性的重要物理量,即薄膜的吸收系数、消光系数、折射率等.用(hvα)2对hv作图,得出了薄膜厚度为0.12,0.48和0.81μm的光学能隙分别为1.54,1.48和1.46eV,证实了材料是直接带隙结构,且在本征吸收的可见光区有高的吸收系数.
채용열벽진공침적적방법,재청길적파리츤저상생장료불동막후적CdTe박막,대기결구화박막적본정흡수광학특성진행료측량분석연구.XRD측시현시박막위다정,구유표준적립방결구,연(111)방향유명현적택우취향.정격상수적계산치위0.649nm,여표준치부합득교호.용Cary 5000형쌍광속분광광도계측시료박막적반사보화투사보,현시재본정흡수구투과솔수착막후적증가화파장적감소이감소.대측량적반사보화투사보채용교엄격적수학처리,계산득도료묘술박막굉관광학특성적중요물리량,즉박막적흡수계수、소광계수、절사솔등.용(hvα)2대hv작도,득출료박막후도위0.12,0.48화0.81μm적광학능극분별위1.54,1.48화1.46eV,증실료재료시직접대극결구,차재본정흡수적가견광구유고적흡수계수.