吉林大学学报（工学版）
吉林大學學報（工學版）
길림대학학보（공학판）
JOURNAL OF JILIN UNIVERSITY(ENGINEERING AND TECHNOLOGY EDITION)
2008年
4期
840-843
,共4页
刘兆政%刘耀辉%蒋百灵%于思荣
劉兆政%劉耀輝%蔣百靈%于思榮
류조정%류요휘%장백령%우사영
材料的表面和界面%磁控溅射%稀土Y%SEM%XPS
材料的錶麵和界麵%磁控濺射%稀土Y%SEM%XPS
재료적표면화계면%자공천사%희토Y%SEM%XPS
研究了Al靶中加入不同含量的稀土Y对CrAlTiN薄膜的影响.应用SEM、EDS、XPS、显微硬度计对薄膜样品进行分析.结果表明,在Al靶材中加入稀土Y后,不但提高了薄膜的厚度,而且随着稀土Y含量的增加,薄膜的表面相逐渐由CrN、Cr2N向Cr变化,Al的含量也是随着Y含量的增加而增加.CrAlTiN薄膜的硬度随着稀土Y含量的升高而降低,并且随着Y含量的升高而逐渐趋于1500HV.
研究瞭Al靶中加入不同含量的稀土Y對CrAlTiN薄膜的影響.應用SEM、EDS、XPS、顯微硬度計對薄膜樣品進行分析.結果錶明,在Al靶材中加入稀土Y後,不但提高瞭薄膜的厚度,而且隨著稀土Y含量的增加,薄膜的錶麵相逐漸由CrN、Cr2N嚮Cr變化,Al的含量也是隨著Y含量的增加而增加.CrAlTiN薄膜的硬度隨著稀土Y含量的升高而降低,併且隨著Y含量的升高而逐漸趨于1500HV.
연구료Al파중가입불동함량적희토Y대CrAlTiN박막적영향.응용SEM、EDS、XPS、현미경도계대박막양품진행분석.결과표명,재Al파재중가입희토Y후,불단제고료박막적후도,이차수착희토Y함량적증가,박막적표면상축점유CrN、Cr2N향Cr변화,Al적함량야시수착Y함량적증가이증가.CrAlTiN박막적경도수착희토Y함량적승고이강저,병차수착Y함량적승고이축점추우1500HV.
