真空与低温
真空與低溫
진공여저온
VACUUM AND CRYOGENICS
2010年
4期
233-237
,共5页
董茂进%陈焘%王济洲%王多书%王超
董茂進%陳燾%王濟洲%王多書%王超
동무진%진도%왕제주%왕다서%왕초
薄膜%TiO2%真空度%光学特性%结构特性
薄膜%TiO2%真空度%光學特性%結構特性
박막%TiO2%진공도%광학특성%결구특성
为制备高性能TiO2光学薄膜,采用离子束辅助,电子束蒸发沉积的方法,研究不同真空度对薄膜性能的影响.真空度随真空室内通氧量增大从1.3×10-3 Pa变化到2.5×10-3 Pa,得到不同光学和结构特性的TiO2薄膜.采用分光光度计测试其光谱,SEM测试其表面形貌.测试结果发现,TiO2薄膜的透过率峰值随真空度降低而增大,折射率和消光系数随真空度降低而减小,薄膜表面形貌随真空度降低从致密变粗糙.在真空度2.0×10-3Pa的工艺条件下,成膜质量最佳,此时最大透过率92%,折射率在2.45～2.20之间,消光系数在10-4以下.根据Cauchy公式拟合其色散规律,拟合曲线和采用包络法计算得到的曲线较好重合,折射率随波长的变化公式为n(λ)=2.12+5.69×104/λ2+8.07×107/λ4.
為製備高性能TiO2光學薄膜,採用離子束輔助,電子束蒸髮沉積的方法,研究不同真空度對薄膜性能的影響.真空度隨真空室內通氧量增大從1.3×10-3 Pa變化到2.5×10-3 Pa,得到不同光學和結構特性的TiO2薄膜.採用分光光度計測試其光譜,SEM測試其錶麵形貌.測試結果髮現,TiO2薄膜的透過率峰值隨真空度降低而增大,摺射率和消光繫數隨真空度降低而減小,薄膜錶麵形貌隨真空度降低從緻密變粗糙.在真空度2.0×10-3Pa的工藝條件下,成膜質量最佳,此時最大透過率92%,摺射率在2.45～2.20之間,消光繫數在10-4以下.根據Cauchy公式擬閤其色散規律,擬閤麯線和採用包絡法計算得到的麯線較好重閤,摺射率隨波長的變化公式為n(λ)=2.12+5.69×104/λ2+8.07×107/λ4.
위제비고성능TiO2광학박막,채용리자속보조,전자속증발침적적방법,연구불동진공도대박막성능적영향.진공도수진공실내통양량증대종1.3×10-3 Pa변화도2.5×10-3 Pa,득도불동광학화결구특성적TiO2박막.채용분광광도계측시기광보,SEM측시기표면형모.측시결과발현,TiO2박막적투과솔봉치수진공도강저이증대,절사솔화소광계수수진공도강저이감소,박막표면형모수진공도강저종치밀변조조.재진공도2.0×10-3Pa적공예조건하,성막질량최가,차시최대투과솔92%,절사솔재2.45～2.20지간,소광계수재10-4이하.근거Cauchy공식의합기색산규률,의합곡선화채용포락법계산득도적곡선교호중합,절사솔수파장적변화공식위n(λ)=2.12+5.69×104/λ2+8.07×107/λ4.
