传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2011年
7期
970-975
,共6页
王玉朝%苑伟政%任森%乔大勇
王玉朝%苑偉政%任森%喬大勇
왕옥조%원위정%임삼%교대용
MEMS%谐振式压力传感器%闭环拓扑%频率跟踪%PLL
MEMS%諧振式壓力傳感器%閉環拓撲%頻率跟蹤%PLL
MEMS%해진식압력전감기%폐배탁복%빈솔근종%PLL
谐振式压力传感器闭环拓扑结构对保持机械谐振器振荡的稳定性和可靠性起着重要作用.针对一种典型结构的静电驱动电容检测MEMS谐振式压力传感器,在分析工作原理的基础上,构建了其混合信号模型.基于该模型搭建了自激振荡、自动增益控制、锁相环和带AGC的自激振荡四种闭环拓扑结构.在混合信号仿真平台下,对四种拓扑结构在起振状况、自动频率跟踪特性、抗冲击性和频率稳定性四个方面进行了仿真比较.结果表明,锁相环闭环拓扑结构表现出较好的综合性能.
諧振式壓力傳感器閉環拓撲結構對保持機械諧振器振盪的穩定性和可靠性起著重要作用.針對一種典型結構的靜電驅動電容檢測MEMS諧振式壓力傳感器,在分析工作原理的基礎上,構建瞭其混閤信號模型.基于該模型搭建瞭自激振盪、自動增益控製、鎖相環和帶AGC的自激振盪四種閉環拓撲結構.在混閤信號倣真平檯下,對四種拓撲結構在起振狀況、自動頻率跟蹤特性、抗遲擊性和頻率穩定性四箇方麵進行瞭倣真比較.結果錶明,鎖相環閉環拓撲結構錶現齣較好的綜閤性能.
해진식압력전감기폐배탁복결구대보지궤계해진기진탕적은정성화가고성기착중요작용.침대일충전형결구적정전구동전용검측MEMS해진식압력전감기,재분석공작원리적기출상,구건료기혼합신호모형.기우해모형탑건료자격진탕、자동증익공제、쇄상배화대AGC적자격진탕사충폐배탁복결구.재혼합신호방진평태하,대사충탁복결구재기진상황、자동빈솔근종특성、항충격성화빈솔은정성사개방면진행료방진비교.결과표명,쇄상배폐배탁복결구표현출교호적종합성능.
