西安理工大学学报
西安理工大學學報
서안리공대학학보
JOURNAL OF XI'AN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
2011年
3期
306-310
,共5页
丁宇%蒋百灵%田亚萍%马二云%张晓静%曹智睿%赵志明
丁宇%蔣百靈%田亞萍%馬二雲%張曉靜%曹智睿%趙誌明
정우%장백령%전아평%마이운%장효정%조지예%조지명
AZO薄膜%直流反应磁控溅射%氧气流量%光电性能
AZO薄膜%直流反應磁控濺射%氧氣流量%光電性能
AZO박막%직류반응자공천사%양기류량%광전성능
采用直流反应磁控溅射方法在载玻片基体上制备AZO薄膜,研究氧气流量对所制备AZO薄膜光电性能及微观结构的影响.结果表明,氧气流量显著影响AZO薄膜的光电性能和结晶状况,当氧气流量高于0.08×10-6 m3/s时所制备的薄膜可见光透过率高但薄膜不导电;当氧气流量低于0.04×10-6 m3/s时沉积的薄膜呈现出金属性特征,薄膜导电不透明;只有在一个较窄的氧气流量范围内才能制备出光电性能均优的AZO薄膜.当氧气流量为0.06×10-6 m3/s时沉积的AZO薄膜具有较低的电阻率,为2.39×10-3Ω·cm,且薄膜在可见光区薄膜的平均透过率在90％以上.
採用直流反應磁控濺射方法在載玻片基體上製備AZO薄膜,研究氧氣流量對所製備AZO薄膜光電性能及微觀結構的影響.結果錶明,氧氣流量顯著影響AZO薄膜的光電性能和結晶狀況,噹氧氣流量高于0.08×10-6 m3/s時所製備的薄膜可見光透過率高但薄膜不導電;噹氧氣流量低于0.04×10-6 m3/s時沉積的薄膜呈現齣金屬性特徵,薄膜導電不透明;隻有在一箇較窄的氧氣流量範圍內纔能製備齣光電性能均優的AZO薄膜.噹氧氣流量為0.06×10-6 m3/s時沉積的AZO薄膜具有較低的電阻率,為2.39×10-3Ω·cm,且薄膜在可見光區薄膜的平均透過率在90％以上.
채용직류반응자공천사방법재재파편기체상제비AZO박막,연구양기류량대소제비AZO박막광전성능급미관결구적영향.결과표명,양기류량현저영향AZO박막적광전성능화결정상황,당양기류량고우0.08×10-6 m3/s시소제비적박막가견광투과솔고단박막불도전;당양기류량저우0.04×10-6 m3/s시침적적박막정현출금속성특정,박막도전불투명;지유재일개교착적양기류량범위내재능제비출광전성능균우적AZO박막.당양기류량위0.06×10-6 m3/s시침적적AZO박막구유교저적전조솔,위2.39×10-3Ω·cm,차박막재가견광구박막적평균투과솔재90％이상.
