光学技术
光學技術
광학기술
OPTICAL TECHNOLOGY
2011年
5期
556-561
,共6页
微小深度尺寸%现场测量%光切显微成像系统%景深
微小深度呎吋%現場測量%光切顯微成像繫統%景深
미소심도척촌%현장측량%광절현미성상계통%경심
针对目前微小深度尺寸现场测量难的问题,设计开发了一种基于光切原理的现场视觉检测系统,应用自主开发的基于Directshow和VC++的图像采集和处理软件,能快速、准确地检测被测工件表面的微小深度尺寸.实验结果表明,该测量系统景深达700μm,可测量20～990μm的深度尺寸,系统整体的测量不确定度优于3％；在200～500μm范围内,系统测量误差小于1.5μm,测量不确定度优于1％.通过模拟易开盖生产现场的振动环境(振动频率为6.7Hz,位移振幅360μm),对该测量系统振动适应性做了分析,实验验证了本系统能够用于类似易开盖生产现场的加工环境中.
針對目前微小深度呎吋現場測量難的問題,設計開髮瞭一種基于光切原理的現場視覺檢測繫統,應用自主開髮的基于Directshow和VC++的圖像採集和處理軟件,能快速、準確地檢測被測工件錶麵的微小深度呎吋.實驗結果錶明,該測量繫統景深達700μm,可測量20～990μm的深度呎吋,繫統整體的測量不確定度優于3％；在200～500μm範圍內,繫統測量誤差小于1.5μm,測量不確定度優于1％.通過模擬易開蓋生產現場的振動環境(振動頻率為6.7Hz,位移振幅360μm),對該測量繫統振動適應性做瞭分析,實驗驗證瞭本繫統能夠用于類似易開蓋生產現場的加工環境中.
침대목전미소심도척촌현장측량난적문제,설계개발료일충기우광절원리적현장시각검측계통,응용자주개발적기우Directshow화VC++적도상채집화처리연건,능쾌속、준학지검측피측공건표면적미소심도척촌.실험결과표명,해측량계통경심체700μm,가측량20～990μm적심도척촌,계통정체적측량불학정도우우3％；재200～500μm범위내,계통측량오차소우1.5μm,측량불학정도우우1％.통과모의역개개생산현장적진동배경(진동빈솔위6.7Hz,위이진폭360μm),대해측량계통진동괄응성주료분석,실험험증료본계통능구용우유사역개개생산현장적가공배경중.
