中国电子科学研究院学报
中國電子科學研究院學報
중국전자과학연구원학보
JOURNAL OF CHINA ACADEMY OF ELECTRONICS AND INFORMATION TECHNOLOGY
2006年
4期
369-372
,共4页
李海军%钟景昌%郝永琴%赵英杰%马建立
李海軍%鐘景昌%郝永琴%趙英傑%馬建立
리해군%종경창%학영금%조영걸%마건립
湿法氧化%垂直腔面发射激光器%尖晶石结构%应力
濕法氧化%垂直腔麵髮射激光器%尖晶石結構%應力
습법양화%수직강면발사격광기%첨정석결구%응력
在精确控制气体流量、温度等条件下对样品进行了湿法氧化实验.在SEM下观察了高铝氧化层的微观结构.讨论了高铝氧化限制层中氧化产物体积收缩产生的多孔结构对氧化反应的作用,以及收缩应力对有源区的影响.分析了氧化后器件串联电阻变大的原因.综合考虑这些因素,结合器件结构优化氧化层的设计,制备出了阈值电流低的、性能优良的VCSEL器件.
在精確控製氣體流量、溫度等條件下對樣品進行瞭濕法氧化實驗.在SEM下觀察瞭高鋁氧化層的微觀結構.討論瞭高鋁氧化限製層中氧化產物體積收縮產生的多孔結構對氧化反應的作用,以及收縮應力對有源區的影響.分析瞭氧化後器件串聯電阻變大的原因.綜閤攷慮這些因素,結閤器件結構優化氧化層的設計,製備齣瞭閾值電流低的、性能優良的VCSEL器件.
재정학공제기체류량、온도등조건하대양품진행료습법양화실험.재SEM하관찰료고려양화층적미관결구.토론료고려양화한제층중양화산물체적수축산생적다공결구대양화반응적작용,이급수축응력대유원구적영향.분석료양화후기건천련전조변대적원인.종합고필저사인소,결합기건결구우화양화층적설계,제비출료역치전류저적、성능우량적VCSEL기건.
