材料工程
材料工程
재료공정
JOURNAL OF MATERIALS ENGINEERING
2008年
10期
29-31,34
,共4页
郑小平%张佩峰%贺德衍%郝远
鄭小平%張珮峰%賀德衍%郝遠
정소평%장패봉%하덕연%학원
KMC%薄膜%反常效应%交换
KMC%薄膜%反常效應%交換
KMC%박막%반상효응%교환
以扩散理论基础,建立以"基本微观过程"为核心的新模型,首次对存在表面活化剂时薄膜生长的微观过程进行KINETIC MONTECARLO模拟.模拟发现,温度较低时沉积原子自身更容易聚集成核,这一反常效应是由于表面活化剂原子比沉积原子更容易被激活扩散造成的.活化层原子和沉积原子都会发生跨层间的扩散,交换比并非恒等于1,而是与温度、入射率、成膜厚度等多种因素有关.
以擴散理論基礎,建立以"基本微觀過程"為覈心的新模型,首次對存在錶麵活化劑時薄膜生長的微觀過程進行KINETIC MONTECARLO模擬.模擬髮現,溫度較低時沉積原子自身更容易聚集成覈,這一反常效應是由于錶麵活化劑原子比沉積原子更容易被激活擴散造成的.活化層原子和沉積原子都會髮生跨層間的擴散,交換比併非恆等于1,而是與溫度、入射率、成膜厚度等多種因素有關.
이확산이론기출,건립이"기본미관과정"위핵심적신모형,수차대존재표면활화제시박막생장적미관과정진행KINETIC MONTECARLO모의.모의발현,온도교저시침적원자자신경용역취집성핵,저일반상효응시유우표면활화제원자비침적원자경용역피격활확산조성적.활화층원자화침적원자도회발생과층간적확산,교환비병비항등우1,이시여온도、입사솔、성막후도등다충인소유관.
