北京化工大学学报(自然科学版)
北京化工大學學報(自然科學版)
북경화공대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF BEIJING UNIVERSITY OF CHEMICAL TECHNOLOGY
2009年
3期
71-74
,共4页
掺铝氧化锌%正交实验%溶胶一凝胶法%薄膜
摻鋁氧化鋅%正交實驗%溶膠一凝膠法%薄膜
참려양화자%정교실험%용효일응효법%박막
采用溶胶-凝胶法制备了掺铝氧化锌(ZnO:Al,ZAO)透明导电膜.对薄膜用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、四探针仪及紫外.可见分光光度计等分析测试手段进行了表征;通过正交实验探讨了溶胶浓度、铝离子的摩尔掺杂量以及退火温度等因素对其电阻率的影响.结果表明,薄膜电阻率随溶胶浓度、铝离子掺杂量的增加,呈现先减小后增大的趋势,并随退火温度的升高而减小.从而确定了制备ZAO透明导电膜的优化工艺条件为:溶胶浓度0.8mol/L,铝离子的掺杂量1.0%(摩尔分数),退火温度550℃.在优化工艺条件下制得的ZAO透明导电薄膜具有标准的ZnO纤锌矿结构,其电阻率为1.275×10-3Ω·cm,平均透光率达84%.
採用溶膠-凝膠法製備瞭摻鋁氧化鋅(ZnO:Al,ZAO)透明導電膜.對薄膜用X射線衍射(XRD)、掃描電鏡(SEM)、四探針儀及紫外.可見分光光度計等分析測試手段進行瞭錶徵;通過正交實驗探討瞭溶膠濃度、鋁離子的摩爾摻雜量以及退火溫度等因素對其電阻率的影響.結果錶明,薄膜電阻率隨溶膠濃度、鋁離子摻雜量的增加,呈現先減小後增大的趨勢,併隨退火溫度的升高而減小.從而確定瞭製備ZAO透明導電膜的優化工藝條件為:溶膠濃度0.8mol/L,鋁離子的摻雜量1.0%(摩爾分數),退火溫度550℃.在優化工藝條件下製得的ZAO透明導電薄膜具有標準的ZnO纖鋅礦結構,其電阻率為1.275×10-3Ω·cm,平均透光率達84%.
채용용효-응효법제비료참려양화자(ZnO:Al,ZAO)투명도전막.대박막용X사선연사(XRD)、소묘전경(SEM)、사탐침의급자외.가견분광광도계등분석측시수단진행료표정;통과정교실험탐토료용효농도、려리자적마이참잡량이급퇴화온도등인소대기전조솔적영향.결과표명,박막전조솔수용효농도、려리자참잡량적증가,정현선감소후증대적추세,병수퇴화온도적승고이감소.종이학정료제비ZAO투명도전막적우화공예조건위:용효농도0.8mol/L,려리자적참잡량1.0%(마이분수),퇴화온도550℃.재우화공예조건하제득적ZAO투명도전박막구유표준적ZnO섬자광결구,기전조솔위1.275×10-3Ω·cm,평균투광솔체84%.
