人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2010年
4期
1072-1077
,共6页
李志明%郝跃%张进成%陈炽%薛军帅%常永明%许晟瑞%毕志伟
李誌明%郝躍%張進成%陳熾%薛軍帥%常永明%許晟瑞%畢誌偉
리지명%학약%장진성%진치%설군수%상영명%허성서%필지위
MOCVD%感应加热%热分析%基座
MOCVD%感應加熱%熱分析%基座
MOCVD%감응가열%열분석%기좌
在立式感应加热的氮化物MOCVD反应室中, 提出了一种刻槽结构的基座;利用有限元法,给出了使衬底温度分布最均匀的槽的位置和大小.与传统的基座相比,这种刻槽优化后的基座,使衬底温度分布的均匀性显著提高.另外,通过对基座温度随加热时间变化的分析,发现刻槽基座的热传导规律,即刻的槽改变了基座中感应产生热量的热传导方向,衬底中的热量是由槽上下基座部分传递而来的,且随时间的增大,基座的温度趋于恒定,衬底的温度趋于均匀,均匀的衬底温度有利于提高生长薄膜的质量.
在立式感應加熱的氮化物MOCVD反應室中, 提齣瞭一種刻槽結構的基座;利用有限元法,給齣瞭使襯底溫度分佈最均勻的槽的位置和大小.與傳統的基座相比,這種刻槽優化後的基座,使襯底溫度分佈的均勻性顯著提高.另外,通過對基座溫度隨加熱時間變化的分析,髮現刻槽基座的熱傳導規律,即刻的槽改變瞭基座中感應產生熱量的熱傳導方嚮,襯底中的熱量是由槽上下基座部分傳遞而來的,且隨時間的增大,基座的溫度趨于恆定,襯底的溫度趨于均勻,均勻的襯底溫度有利于提高生長薄膜的質量.
재입식감응가열적담화물MOCVD반응실중, 제출료일충각조결구적기좌;이용유한원법,급출료사츤저온도분포최균균적조적위치화대소.여전통적기좌상비,저충각조우화후적기좌,사츤저온도분포적균균성현저제고.령외,통과대기좌온도수가열시간변화적분석,발현각조기좌적열전도규률,즉각적조개변료기좌중감응산생열량적열전도방향,츤저중적열량시유조상하기좌부분전체이래적,차수시간적증대,기좌적온도추우항정,츤저적온도추우균균,균균적츤저온도유리우제고생장박막적질량.
