机械设计与制造
機械設計與製造
궤계설계여제조
MACHINERY DESIGN & MANUFACTURE
2011年
1期
219-221
,共3页
气浮定位平台%有限元分析%模态分析%超精密
氣浮定位平檯%有限元分析%模態分析%超精密
기부정위평태%유한원분석%모태분석%초정밀
设计了一种超精密气浮定位平台,并运用Ansys对导轨和滑台分别作了有限元模态分析,校核了其动态刚度.在此基础上,分析了导轨的厚度对导轨刚度的影响以及滑台顶板厚度对滑台刚度的影响,为结构的优化设计提供了参考依据.分析结果显示,定位平台的刚度满足设计要求.
設計瞭一種超精密氣浮定位平檯,併運用Ansys對導軌和滑檯分彆作瞭有限元模態分析,校覈瞭其動態剛度.在此基礎上,分析瞭導軌的厚度對導軌剛度的影響以及滑檯頂闆厚度對滑檯剛度的影響,為結構的優化設計提供瞭參攷依據.分析結果顯示,定位平檯的剛度滿足設計要求.
설계료일충초정밀기부정위평태,병운용Ansys대도궤화활태분별작료유한원모태분석,교핵료기동태강도.재차기출상,분석료도궤적후도대도궤강도적영향이급활태정판후도대활태강도적영향,위결구적우화설계제공료삼고의거.분석결과현시,정위평태적강도만족설계요구.
