长春理工大学学报（自然科学版）
長春理工大學學報（自然科學版）
장춘리공대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF CHANGCHUN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2011年
2期
154-156,168
,共4页
邢大林%赵曼%唐亮%王嘉%李健
邢大林%趙曼%唐亮%王嘉%李健
형대림%조만%당량%왕가%리건
氮铝镓%紫外%光电探测器%热退火
氮鋁鎵%紫外%光電探測器%熱退火
담려가%자외%광전탐측기%열퇴화
宽带隙半导体合金材料ALxGa1-xN成为紫外光电探测器的优选材料,本文通过金属有机气相外延(MOCVD)的方法在Al2O3衬底上制备出Al0.25Ga0.75N合金薄膜,并通过紫外曝光和湿法腐蚀的方法,制备出平面对称结构的金属-半导体-金属( MSM)叉指电极结构,通过器件在氮气气氛下不同温度的退火,使得器件的响应度得到很大的提高,在1V偏压下达到3.25A/W,同时对器件的其它参数进行了深入的分析.
寬帶隙半導體閤金材料ALxGa1-xN成為紫外光電探測器的優選材料,本文通過金屬有機氣相外延(MOCVD)的方法在Al2O3襯底上製備齣Al0.25Ga0.75N閤金薄膜,併通過紫外曝光和濕法腐蝕的方法,製備齣平麵對稱結構的金屬-半導體-金屬( MSM)扠指電極結構,通過器件在氮氣氣氛下不同溫度的退火,使得器件的響應度得到很大的提高,在1V偏壓下達到3.25A/W,同時對器件的其它參數進行瞭深入的分析.
관대극반도체합금재료ALxGa1-xN성위자외광전탐측기적우선재료,본문통과금속유궤기상외연(MOCVD)적방법재Al2O3츤저상제비출Al0.25Ga0.75N합금박막,병통과자외폭광화습법부식적방법,제비출평면대칭결구적금속-반도체-금속( MSM)차지전겁결구,통과기건재담기기분하불동온도적퇴화,사득기건적향응도득도흔대적제고,재1V편압하체도3.25A/W,동시대기건적기타삼수진행료심입적분석.
