低温与特气
低溫與特氣
저온여특기
LOW TEMPERATURE AND SPECIALTY GASES
2011年
4期
37-39
,共3页
单晶硅炉%氩气%质量流量控制器%真空度
單晶硅爐%氬氣%質量流量控製器%真空度
단정규로%아기%질량류량공제기%진공도
目前单晶炉设备全自动控制技术日趋成熟.单晶硅炉拉晶生长过程中,炉体内的真空度稳定性是一个重要的环节.质量流量控制器MFC对于维持单晶炉内真空值起着极其重要的作用.
目前單晶爐設備全自動控製技術日趨成熟.單晶硅爐拉晶生長過程中,爐體內的真空度穩定性是一箇重要的環節.質量流量控製器MFC對于維持單晶爐內真空值起著極其重要的作用.
목전단정로설비전자동공제기술일추성숙.단정규로랍정생장과정중,로체내적진공도은정성시일개중요적배절.질량류량공제기MFC대우유지단정로내진공치기착겁기중요적작용.
