清洗世界
清洗世界
청세세계
CHEMICAL CLEANING
2011年
8期
22-27,31
,共7页
李智峰%施旗%汪兴%周程%敬亚
李智峰%施旂%汪興%週程%敬亞
리지봉%시기%왕흥%주정%경아
超洁净%超声波%全自动%慢提拉干燥%全自动化生产
超潔淨%超聲波%全自動%慢提拉榦燥%全自動化生產
초길정%초성파%전자동%만제랍간조%전자동화생산
ultra clean%ultrasonic%full automatic%slow tiras dry%full automatic production
论述了一种新型全自动超声波清洗机的的工作原理及实际应用。该清洗机综合运用了当今国际最前沿最先进的清洗理念及技术，清洗后产品的洁净度可达0．25μm。本设备是铬版制作中掩膜抛光后的高洁净度的清洗设备。该产品可以应用于同行业不同的工序或其他行业要求高精度清洗工序中。
論述瞭一種新型全自動超聲波清洗機的的工作原理及實際應用。該清洗機綜閤運用瞭噹今國際最前沿最先進的清洗理唸及技術，清洗後產品的潔淨度可達0．25μm。本設備是鉻版製作中掩膜拋光後的高潔淨度的清洗設備。該產品可以應用于同行業不同的工序或其他行業要求高精度清洗工序中。
논술료일충신형전자동초성파청세궤적적공작원리급실제응용。해청세궤종합운용료당금국제최전연최선진적청세이념급기술，청세후산품적길정도가체0．25μm。본설비시락판제작중엄막포광후적고길정도적청세설비。해산품가이응용우동행업불동적공서혹기타행업요구고정도청세공서중。
This paper discusses a new automatic ultrasonic cleaning machine of the working principle and practical application. This washer comprehensive use of the current international forefront most advanced clean idea and technical. This equipment is applied to maskblank in making mask after polishing precisely cleaning, after cleaning product cleanliness can reach 0.25 μm. This product can be used in the same profession different processes or other industries high-precision cleaning process.
