仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2003年
z2期
192-193
,共2页
杨轶%张宁欣%任天令%刘理天
楊軼%張寧訢%任天令%劉理天
양질%장저흔%임천령%류리천
铁电薄膜%锆钛酸铅%溶胶-凝胶%刻%蚀%剥%离
鐵電薄膜%鋯鈦痠鉛%溶膠-凝膠%刻%蝕%剝%離
철전박막%고태산연%용효-응효%각%식%박%리
对集成铁电器件中的关键工艺进行了研究,采用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备了高品质、(110)择优取向的锆钛酸铅(PZT)铁电薄膜,成功的利用离子束刻蚀(IBE)、反应离子刻蚀(RIE)和湿法腐蚀方法对PZT薄膜进行了刻蚀加工,采用正胶剥离和干法刻蚀工艺实现了金属铂(Pt)电极图形,为集成铁电器件的实现提供了良好的工艺基础.
對集成鐵電器件中的關鍵工藝進行瞭研究,採用改進的溶膠-凝膠(Sol-Gel)法製備瞭高品質、(110)擇優取嚮的鋯鈦痠鉛(PZT)鐵電薄膜,成功的利用離子束刻蝕(IBE)、反應離子刻蝕(RIE)和濕法腐蝕方法對PZT薄膜進行瞭刻蝕加工,採用正膠剝離和榦法刻蝕工藝實現瞭金屬鉑(Pt)電極圖形,為集成鐵電器件的實現提供瞭良好的工藝基礎.
대집성철전기건중적관건공예진행료연구,채용개진적용효-응효(Sol-Gel)법제비료고품질、(110)택우취향적고태산연(PZT)철전박막,성공적이용리자속각식(IBE)、반응리자각식(RIE)화습법부식방법대PZT박막진행료각식가공,채용정효박리화간법각식공예실현료금속박(Pt)전겁도형,위집성철전기건적실현제공료량호적공예기출.
