微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2011年
1期
15-20
,共6页
文常保%巨永锋%康迤%闫栋
文常保%巨永鋒%康迆%閆棟
문상보%거영봉%강이%염동
声表面波器件%多条耦合器%双声路%分裂指%假指
聲錶麵波器件%多條耦閤器%雙聲路%分裂指%假指
성표면파기건%다조우합기%쌍성로%분렬지%가지
利用模块化设计思想,在Matlab编程环境下实现了基于多条耦合器双声路声表面波器件的设计仿真平台.为了提高MSC双声路SAW器件的性能,该平台将多条耦合器、分裂指及假指设计方案融合到器件设计中.多条耦合器不仅实现了两个变迹换能器传递函数的乘积,而且消除了体声波对器件性能的影响.假指消除了通过变迹换能器引起的波前畸变.分裂指可以最小化换能器内部的声波反射问题.通过一个频率为203.559 MHz的基于多条耦合器双声路声表面波器件的设计和实际测试结果的对比分析,证明了该设计仿真平台不仅可以进行器件版图结构的设计和模拟,而且设计平台所得到的版图和数据可以用于器件的掩膜版制作和器件封装尺寸参考.另外,该仿真设计平台可以很好地实现对器件的脉冲特性、频率响应特性的模拟和仿真.
利用模塊化設計思想,在Matlab編程環境下實現瞭基于多條耦閤器雙聲路聲錶麵波器件的設計倣真平檯.為瞭提高MSC雙聲路SAW器件的性能,該平檯將多條耦閤器、分裂指及假指設計方案融閤到器件設計中.多條耦閤器不僅實現瞭兩箇變跡換能器傳遞函數的乘積,而且消除瞭體聲波對器件性能的影響.假指消除瞭通過變跡換能器引起的波前畸變.分裂指可以最小化換能器內部的聲波反射問題.通過一箇頻率為203.559 MHz的基于多條耦閤器雙聲路聲錶麵波器件的設計和實際測試結果的對比分析,證明瞭該設計倣真平檯不僅可以進行器件版圖結構的設計和模擬,而且設計平檯所得到的版圖和數據可以用于器件的掩膜版製作和器件封裝呎吋參攷.另外,該倣真設計平檯可以很好地實現對器件的脈遲特性、頻率響應特性的模擬和倣真.
이용모괴화설계사상,재Matlab편정배경하실현료기우다조우합기쌍성로성표면파기건적설계방진평태.위료제고MSC쌍성로SAW기건적성능,해평태장다조우합기、분렬지급가지설계방안융합도기건설계중.다조우합기불부실현료량개변적환능기전체함수적승적,이차소제료체성파대기건성능적영향.가지소제료통과변적환능기인기적파전기변.분렬지가이최소화환능기내부적성파반사문제.통과일개빈솔위203.559 MHz적기우다조우합기쌍성로성표면파기건적설계화실제측시결과적대비분석,증명료해설계방진평태불부가이진행기건판도결구적설계화모의,이차설계평태소득도적판도화수거가이용우기건적엄막판제작화기건봉장척촌삼고.령외,해방진설계평태가이흔호지실현대기건적맥충특성、빈솔향응특성적모의화방진.
