双波长激光量块干涉仪减小量块中心长度测量不确定度的措施
쌍파장격광량괴간섭의감소량괴중심장도측량불학정도적조시
Several measures for reducing the uncertainty of measurement on developing of the laser interferometer for gauge block measurement with double wavelengths
  • 万方数据
    上海计量测试 상해계량측시
    SHANGHAI MEASUREMENT AND TESTING
    2010年 6期 27-29 ,共3页

    蒋秀兰%祝逸庆%马建敏%傅云霞%蔡明钢%葛爱明%王青%陈磊

    장수란%축일경%마건민%부운하%채명강%갈애명%왕청%진뢰

    量块%激光干涉仪%测量不确定度 量塊%激光榦涉儀%測量不確定度
    량괴%격광간섭의%측량불학정도
    该文总结了双波长激光干涉仪研制过程中减小量块中心长度测量不确定度的几项重要措施,该干涉仪对量块中心长度的测量不确定度达到(0.02±0.2L)μm,并已成功应用于高等级量块的自动测量.
    해문총결료쌍파장격광간섭의연제과정중감소량괴중심장도측량불학정도적궤항중요조시,해간섭의대량괴중심장도적측량불학정도체도(0.02±0.2L)μm,병이성공응용우고등급량괴적자동측량.
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