传感器技术
傳感器技術
전감기기술
JOURNAL OF TRANSDUCER TECHNOLOGY
2003年
5期
17-19
,共3页
吴登峰%邬玉亭%褚家如%张淑珍
吳登峰%鄔玉亭%褚傢如%張淑珍
오등봉%오옥정%저가여%장숙진
阳极键合%线阴极%硅片
暘極鍵閤%線陰極%硅片
양겁건합%선음겁%규편
在平板阴极和点阴极方式做阳极键合时,时间-电流特性、键合速度、结合界面质量等都有所不同.通过建立力学和电学模型,分析了不同阴极形状对阳极键合的时间、强度以及结合界面特性的影响.根据模型分析,采取了线阴极工作方式做阳极键合,样品的键合区扩散时间只需要84 s.结合界面无空洞,键合强度为16.7 MPa.
在平闆陰極和點陰極方式做暘極鍵閤時,時間-電流特性、鍵閤速度、結閤界麵質量等都有所不同.通過建立力學和電學模型,分析瞭不同陰極形狀對暘極鍵閤的時間、彊度以及結閤界麵特性的影響.根據模型分析,採取瞭線陰極工作方式做暘極鍵閤,樣品的鍵閤區擴散時間隻需要84 s.結閤界麵無空洞,鍵閤彊度為16.7 MPa.
재평판음겁화점음겁방식주양겁건합시,시간-전류특성、건합속도、결합계면질량등도유소불동.통과건립역학화전학모형,분석료불동음겁형상대양겁건합적시간、강도이급결합계면특성적영향.근거모형분석,채취료선음겁공작방식주양겁건합,양품적건합구확산시간지수요84 s.결합계면무공동,건합강도위16.7 MPa.
