超硬材料工程
超硬材料工程
초경재료공정
SUPERHARD MATERIAL ENGINEERING
2009年
4期
1-5
,共5页
邓福铭%赵志岩%卢学军%李文铸
鄧福銘%趙誌巖%盧學軍%李文鑄
산복명%조지암%로학군%리문주
热丝CVD%大面积%高质量%金刚石厚膜
熱絲CVD%大麵積%高質量%金剛石厚膜
열사CVD%대면적%고질량%금강석후막
采用热丝CVD方法,在Ф110mm的钼基体上,以丙酮为碳源,在高纯氢的作用下,成功地合成了高质量自支撑金刚石厚膜.X射线、SEM和拉曼光谱分析表明,所合成金刚石厚膜质量均匀,晶体单一、完好、纯度高,生长速度快,已接近制备实用化的金刚石膜的要求.
採用熱絲CVD方法,在Ф110mm的鉬基體上,以丙酮為碳源,在高純氫的作用下,成功地閤成瞭高質量自支撐金剛石厚膜.X射線、SEM和拉曼光譜分析錶明,所閤成金剛石厚膜質量均勻,晶體單一、完好、純度高,生長速度快,已接近製備實用化的金剛石膜的要求.
채용열사CVD방법,재Ф110mm적목기체상,이병동위탄원,재고순경적작용하,성공지합성료고질량자지탱금강석후막.X사선、SEM화랍만광보분석표명,소합성금강석후막질량균균,정체단일、완호、순도고,생장속도쾌,이접근제비실용화적금강석막적요구.
