Si衬底上Mg0.3Zn0.7O薄膜结构及光学性能
Si츤저상Mg0.3Zn0.7O박막결구급광학성능
Structure and Optical Properties of Mg0.3Zn0.7O Film Deposited on Si Substrate
  • 万方数据
    硅酸盐通报 규산염통보
    BULLETIN OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY
    2009年 3期 619-623 ,共5页

    刘全生%张希艳%柏朝晖%王能利%王晓春%米晓云%卢利平%孔智艳

    류전생%장희염%백조휘%왕능리%왕효춘%미효운%로리평%공지염

    Mg0.3Zn0.7O薄膜%溶胶凝胶法%硅衬底%紫外发光 Mg0.3Zn0.7O薄膜%溶膠凝膠法%硅襯底%紫外髮光
    Mg0.3Zn0.7O박막%용효응효법%규츤저%자외발광
    采用溶胶-凝胶旋涂法在Si衬底上制备了Mg0.3Zn0.7 O薄膜,采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外-可见荧光光谱仪和紫外-可见分光光度仪测试了Mg0.3Zn0.7O薄膜的结构和光学性能.结果表明:Si衬底上Mg0.3.Zn0.7O薄膜以六方相ZnO纤锌矿为主,存在少部分立方相MgO,薄膜均匀,平均粒径约为40 nm.吸收光谱中吸收边位于313 nm,相应的带隙为3.96 eV.发光光谱是峰值位于421 nm的宽带谱,激发光谱范围宽,具有近紫外激发优势.
    채용용효-응효선도법재Si츤저상제비료Mg0.3Zn0.7 O박막,채용X사선연사의、소묘전자현미경、자외-가견형광광보의화자외-가견분광광도의측시료Mg0.3Zn0.7O박막적결구화광학성능.결과표명:Si츤저상Mg0.3.Zn0.7O박막이륙방상ZnO섬자광위주,존재소부분립방상MgO,박막균균,평균립경약위40 nm.흡수광보중흡수변위우313 nm,상응적대극위3.96 eV.발광광보시봉치위우421 nm적관대보,격발광보범위관,구유근자외격발우세.
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